Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Trias SPA #9284152 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Trias SPA est un procédé de graveur/asher automatisé, conçu pour la fabrication d'appareils physiques et électroniques. Le procédé permet aux fabricants et aux ingénieurs de modéliser avec précision une variété de surfaces avec des caractéristiques minimales jusqu'à 10 nanomètres, et a la flexibilité de traiter les matériaux organiques, inorganiques et polymères. L'équipement se compose de trois composants principaux : la chambre, la source de plasma et l'électronique de commande. La chambre de traitement sous vide du système, le cœur de l'unité, est conçue avec des capacités avancées d'échappement, d'évacuation et de distribution de gaz, permettant un large éventail d'applications de traitement. La sortie de la source de plasma fixée à la chambre de procédé permet diverses chimies de gravure de plasma, tandis que la carte de commande de la machine permet des recettes de processus précises et répétables pour des rendements de produits supérieurs. TEL Trias SPA comprend une variété de fonctionnalités qui aident à assurer un contrôle optimal du processus et des performances, comme un outil de contrôle PLC de plaquette sophistiqué pour définir automatiquement les étapes constitutives du processus de gravure. En outre, l'actif comprend une variété de fonctions auxiliaires utiles, telles que l'acquisition de données en temps réel, la surveillance des données d'alarme, et l'ajustement automatique de la recette de processus, contribuant à maximiser les performances du processus. Le modèle comprend également une gamme d'interfaces de surveillance graphique, qui aident les ingénieurs dans le développement de processus et les étapes de qualification de la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Les capacités avancées de mesure de la pression de l'appareil, combinées à son interface graphique en temps réel, permettent d'ajuster efficacement les paramètres de traitement pour obtenir des résultats de gravure précis et reproductibles. Afin d'assurer une performance et une fiabilité cohérentes, TOKYO ELECTRON Trias SPA est conçu pour minimiser les pannes et les coûts d'entretien. On y parvient grâce à l'application de systèmes de contrôle avancés, de puissants mandrins magnétiques, de chauffages résistants à la corrosion et de pompes à vide spécialisées. Dans l'ensemble, le système de gravure Trias SPA est un outil de fabrication d'appareils puissant et fiable qui fournit une solution rentable pour la gravure d'une variété de surfaces avec de petites caractéristiques. Sa flexibilité, sa précision et sa facilité d'utilisation en font un outil indispensable pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs.