Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Trias SPA #9294450 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Trias SPA est une machine de gravure/cueillette avancée utilisée dans l'industrie des semi-conducteurs. Il a été conçu pour fournir un contrôle de processus supérieur et la fiabilité pour aider les fabricants à assurer les meilleurs rendements. TEL Trias SPA dispose de plusieurs composants clés et de capacités avancées. La conception avancée de la chambre crée un environnement stable à vide élevé afin que les utilisateurs puissent atteindre le taux de gravure le plus rapide sans compromettre l'un des paramètres du processus, comme la température ou le débit de gaz. Le mandrin à faible frottement, les vannes de grille et le port de charge avancé offrent de meilleures caractéristiques de contrôle de la température et de sécurité, tandis que les guides de ligne de poutre assurent une uniformité maximale sur la plaquette. Ces fonctionnalités permettent aux utilisateurs d'obtenir la plus grande uniformité avec le temps de gravure le plus court. La haute précision de TOKYO ELECTRON Trias SPA le rend idéal pour les caractéristiques gravées ou les tailles de motifs qui nécessitent des résultats exacts et reproductibles. L'équipement est disponible avec surveillance de l'épaisseur de la résine photosensible, ce qui permet aux utilisateurs de mieux comprendre la précision de leur travail de gravure, leur permettant d'ajuster les recettes et d'augmenter les rendements. Trias SPA dispose également d'un ensemble complet de logiciels avancés. Le système Digital Recipe Management permet aux utilisateurs de gérer facilement la bibliothèque de recettes, et peut même être intégré à l'unité de commande et de contrôle d'une installation. La machine Advanced Process Control compense automatiquement les variations des paramètres du processus, tandis que l'outil de Co-simulation intégré permet aux utilisateurs d'évaluer les effets ultérieurs d'un processus avant son exécution. La fonction avancée de nettoyage automatisé des chambres utilise un outil de nettoyage des chambres à trois étages avec des chambres adressables individuellement et assure des temps de récupération plus rapides et une grande propreté pour les plaquettes. TEL/TOKYO ELECTRON Trias SPA est une machine de gravure avancée pour l'industrie des semi-conducteurs. Ses caractéristiques robustes garantissent un contrôle supérieur des processus, une grande précision, l'uniformité et la répétabilité, ainsi que des temps de gravure plus courts. TEL Trias SPA aide les utilisateurs à augmenter les rendements en fournissant une gamme complète de logiciels avancés, avec des systèmes de gestion de recette numérique et de contrôle de processus avancé, ainsi qu'un modèle de nettoyage de chambre automatisé.