Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Trias SPA #9315410 à vendre en France
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ID: 9315410
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2002
CVD System, 12"
Mainframe
EFEM
YASKAWA XU-RVM4100
SHINKO BX80-070641-11
SHINKO BX80-070786-11
2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Trias SPA est un graveur/asher avancé, conçu pour la gravure profonde d'une large gamme de matériaux. Ces gravures/cendres sont équipées d'une capacité de gravure au silicium pouvant atteindre 500 μ m. TEL Trias SPA est capable de fournir des motifs gravés avec des caractéristiques allant jusqu'à 3,5 μ m, avec une excellente précision et une excellente répétabilité des motifs. Le graveur/asher est idéal pour la gravure d'une large gamme de matériaux, allant du silicium à d'autres substrats, tels que le quartz, la céramique, le verre, l'ITO, et d'autres matériaux. Le graveur/asher obtient un excellent contrôle de profil et une surimpression minimale, ce qui permet de créer des motifs précis. TOKYO ELECTRON Trias SPA etcher/asher est équipé de composants standards tels qu'un mandrin en quartz et un porte-plaquettes en quartz. Il est conçu comme un équipement compact, qui occupe très peu d'espace au sol et permet ainsi des densités de processus plus élevées. L'etcher/asher est convivial et peut être utilisé facilement. Le système est équipé d'une variété de programmes de contrôle qui permettent aux utilisateurs de sélectionner l'état optimal du processus et d'obtenir le meilleur résultat de gravure. L'unité permet également aux utilisateurs de surveiller le processus de gravure et de s'assurer que le graveur est idéal pour le matériau. Trias SPA etcher/asher est adapté pour le contrôle de processus d'une large gamme de matériaux et de substrats. Il peut gérer les processus de gravure anisotrope et isotrope. Le graveur/asher est équipé de plusieurs fonctions de sécurité avancées pour assurer un processus de gravure sûr. Il est équipé d'une interface utilisateur graphique pleine couleur (interface graphique) qui simplifie le contrôle de la machine. De plus, TEL/TOKYO ELECTRON Trias SPA etcher/asher dispose d'une variété de fonctionnalités qui permettent aux utilisateurs de surveiller et d'entretenir la machine. Il offre une capacité de nettoyage manuel et automatique des substrats, réduit les fenêtres de processus pour des tailles de plaquettes spécifiques, et simplifie la maintenance des processus. De plus, le graveur/asher prend en charge à la fois la programmation par lots et la programmation monobloc, ce qui le rend idéal pour une grande variété d'applications de gravure. Dans l'ensemble, TEL Trias SPA etcher/asher est un outil avancé, fiable etcher/asher qui peut produire des résultats précis et fiables, tout en offrant de précieuses capacités de contrôle des processus, de surveillance des processus et de sécurité. Il est adapté à une grande variété d'applications de gravure et autres et est un excellent choix pour les laboratoires et les installations de production.
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