Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN #9253817 à vendre en France

TEL Trias TI/TIN est un graveur/asher de pointe pour le traitement des semi-conducteurs. Il utilise la technologie DRIE (Deep Reactive Ion Gravching) pour produire des articles avec une très grande précision et répétabilité. Il est principalement utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour des applications telles que la génération de caractéristiques de moins de 100nm. La gravure proprement dite est réalisée dans une chambre à vide. Les gaz de procédé, qui sont choisis en fonction de la tâche à accomplir, sont introduits dans la chambre avec l'échantillon. Pendant le processus, les champs électriques et les explosions de l'intérieur de la chambre créent un environnement de gravure. Cet environnement interagit avec les gaz de procédé et l'échantillon pour graver, recuit et déposer le matériau dans un ordre très précis, ce qui donne des structures bidimensionnelles et tridimensionnelles avec profil de gravure modelé. TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN est équipé d'un suscepteur de graphite, protégeant l'objet à graver et assurant le maintien de la température à un niveau optimal. Ce système assure que les articles restent très stables avec très peu de scintillement et permet donc une gravure et un recuit de haute précision. Le système est également équipé d'un gestionnaire automatique de plaquettes qui permet de graver et de recuit plusieurs articles simultanément. Les manipulateurs sont capables de placer et de déplacer avec précision l'échantillon dans différentes directions pour permettre une gamme complète de processus de gravure. TEL/TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN est livré avec une résolution de 3 microns et a été la marque de succès pour TEL dans l'industrie de la transformation des plaquettes. Il est également équipé d'un ensemble de fonctions de sécurité telles que le mécanisme d'interception de la sécurité de l'ozone, qui protègent la plaquette contre les fuites d'ozone. En résumé, TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN est un graveur/asher très précis, reproductible et fiable, permettant aux utilisateurs de générer des structures bidimensionnelles et tridimensionnelles de haute précision. Il est équipé d'un suscepteur de graphite, de manutentionneurs automatiques de plaquettes, d'une résolution de 3 microns et d'un ensemble de fonctions de sécurité qui assurent que les articles restent dans un état très stable et les protègent des fuites d'ozone.