Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN #9253877 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN
ID: 9253877
Taille de la plaquette: 12"
Metal CVD system, 12".
TEL Trias TI/TIN est un graveur automatisé de grande capacité qui combine de multiples technologies de gravure et de décapage pour fournir une gravure lisse et de haute qualité pour une grande variété de matériaux résineux et de substrat. L'équipement TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN dispose de couches avancées de protection électromagnétique et résistante à la adhérence qui garantissent une gravure fiable et de grande capacité sans compromettre la qualité. Il supporte les plans de processus arbitraires avec son logiciel Shape Wizard et réduit considérablement les temps d'arrêt avec son moniteur PECVD robuste et fiable. TEL/TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN etcher est équipé de deux sources de plasma, une source polarisée fournissant l' 50mA du courant ionique et une source non polarisée pour la puissance de gravure accordable. Chaque source dispose de paramètres plasmatiques et de température réglables indépendamment, permettant un contrôle optimal lors de la gravure. Cela permet une gravure de haute qualité et une bonne sélectivité entre les matériaux différents, faisant de TEL Trias TI/TIN un choix populaire pour beaucoup. Il supporte également une large gamme de paramètres de tension d'entrée et de sortie, permettant une compatibilité directe avec les dispositifs médicaux et semi-conducteurs. En outre, la chambre de procédé de TOKYO ELECTRON TRIAS TI/TIN est construite de façon robuste pour réduire la contamination et la dérive de la chambre de réaction associée aux fluctuations de température et de pression. La chambre peut également être facilement ouverte, nettoyée et ajustée pour différentes applications de gravure. Il comprend également une chambre de mini-obturation supplémentaire pour les procédés pré-nettoyés en bande et HF et des procédés spéciaux liés à la gravure par pulvérisation pour les matériaux de haute rigidité. Le système de contrôle global de TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS TI/TIN est également très puissant et comprend non seulement Shape Wizard, une interface utilisateur graphique conçue pour une programmation de travail facile et la reconnaissance de motifs de gravure sur les motifs thinfilm, mais aussi une variété d'autres composants de contrôle. L'unité comprend un setter de temps de réglage automatique, une touche ESC, un menu de support multilingue, ainsi qu'une fenêtre de réglage de commande et une fenêtre d'alarme pour vous aider à surveiller le processus. En outre, il comprend également le mode ECO, qui aide à maintenir les coûts de gravure bas en optimisant la charge sur les sources de plasma, et une machine OVLF (surcharge protection) qui ferme automatiquement les sources d'énergie si elles dépassent leurs limites programmées. En conclusion, TEL Trias TI/TIN est un graveur très fiable, conçu pour une efficacité maximale et des résultats optimaux. Ses caractéristiques avancées, telles que ses sources de plasma polyvalentes, sa chambre de procédé robuste et son puissant outil de contrôle, en font un choix idéal pour une variété d'applications de gravure.
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