Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN #9294214 à vendre en France
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TEL Trias TI/TIN est un graveur/asher spécialement conçu pour les besoins de traitement des semi-conducteurs dans l'industrie électronique. Il est capable de traitement multi-étapes et multi-produits, permettant la production de plaquettes de haute qualité tout en utilisant un équipement de production rentable. Son but est de déposer avec précision des motifs et des matériaux sur des zones spécifiques d'une plaquette semi-conductrice afin de réaliser un dispositif ou un produit semi-conducteur. Le système utilise la technologie de gravure ionique réactive (RIE) afin d'obtenir un motif de précision et un dépôt matériel. TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN est équipé de fonctionnalités de pointe, dont les suivantes : une interface utilisateur simplifiée avec des menus intuitifs, un chargeur de plaquettes automatisé, et des composants conçus pour réduire les vibrations. La plaquette est maintenue en place par une pince électrostatique à l'intérieur de la chambre de procédé pour assurer une fixation précise et cohérente. Le Trias TI/TIN propose également une variété de lignes multi-gaz coaxiales et parallèles et une unité laser à balayage pour surveiller l'épaisseur des matériaux déposés. De plus, la machine offre une sécurité accrue, y compris des emboîtements de sécurité du personnel, un outil d'échappement intégré et un interrupteur de défaut au sol (GFI). TEL/TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN offre une large gamme de capacités de gravure, ce qui le rend idéal pour la fabrication de solutions dans le domaine des semi-conducteurs. Il offre des capacités avancées de gravure de l'aluminium, permettant une gravure et une rampe à grande vitesse pour les applications de rapport d'aspect critique. Il offre également des capacités de gravure de pointe par gravure et par trou, offrant une profondeur et une reproductibilité accrues pour des applications de précision telles que la tranchée de Damascène. De plus, l'actif offre des fonctions de gravure avancées telles que la gravure optique par voie passante et la gravure latérale pour les profils de bord contrôlés. En bref, TEL Trias TI/TIN est un graveur/asher qui offre des fonctionnalités avancées et des capacités pour répondre aux demandes changeantes dans l'industrie des semi-conducteurs. Il utilise sa technologie de détection de précision et de gravure ionique réactive pour garantir la précision et la rentabilité de la production de plaquettes de haute qualité. De plus, sa variété de lignes multi-gaz coaxiales et parallèles, son modèle laser à balayage et ses dispositifs de sécurité améliorés assurent fiabilité et protection pendant le processus de fabrication.
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