Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN #9294366 à vendre en France

TEL Trias TI/TIN est un graveur/asher haute performance conçu pour l'industrie de la fabrication de semi-conducteurs. Il est capable de fournir une gravure/ombrage uniforme de haute qualité sur tous les types de matériaux, y compris le silicium, le verre, le silicium polycristallin et le quartz. Le graveur/asher utilise un équipement de processus de gravure/ombrage fiables et normalisés. Il comprend un système de contrôle programmable avec un logiciel de pointe développé par TOKYO ELECTRON qui permet des résultats reproductibles et de haute qualité. Le graveur-asher est constitué d'une plaque de substrat chauffée, d'une lentille de focalisation, d'une buse de gravure/ombrage, d'un générateur de plasma et d'un moniteur de température du substrat. Il est équipé d'une unité de refroidissement Peltier pour s'assurer que le substrat est correctement entretenu et refroidi après gravure/ombrage. Le graveur/asher dispose d'une précision et d'une répétabilité élevées, ainsi que d'une vitesse et d'un angle réglables pour une gravure/ombrage optimisé. La machine est équipée d'une pompe à vide pour maintenir l'environnement de gravure/ombrage propre et sec. Il est également équipé d'un outil d'échappement dédié qui assure l'évacuation des particules expulsées de l'espace de travail. L'actif est également équipé d'un moniteur de gravure/ombrage précis, qui garde le suivi du processus de gravure/ombrage et informe les utilisateurs lorsque le processus est terminé. Le graveur/asher supporte également plusieurs types de gravure/ombrage, tels que la gravure anisotrope, isotrope, et la gravure/ombrage de couverture. En outre, le modèle peut gérer la gravure/l'ombre à motifs et a la capacité de graver/l'ombre sur de grandes zones. Enfin, l'équipement comprend la gestion de la puissance, le dépôt de faisceaux d'ions et la protection des plaquettes, ce qui en fait un graveur/asher fiable et polyvalent pour les applications industrielles.