Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN #9294475 à vendre en France
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ID: 9294475
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2004
CVD System, 12"
2004 vintage.
TEL Trias TI/TIN est un graveur/asher conçu pour des applications semi-conductrices. C'est un type de machine à plaque chaude qui peut effectuer de nombreux processus de gravure et de décapage de précision avec des retournements rapides. La machine est composée de quatre chambres ; gravure, bande, transfert et chambre d'échappement. La chambre de gravure contient l'unité de gravure, où un substrat de silicium est immergé dans du liquide de gravure pour la gravure. La chambre à bande contient le nettoyant liquide de gravure, où le substrat est exposé à des vibrations ultrasonores qui éliminent le résidu de gravure du substrat. Un vide est généré dans la chambre à bande pour éliminer le liquide de gravure avec le résidu généré. La chambre de transfert est utilisée pour transporter le substrat entre les chambres de gravure et de bande, tandis que la chambre d'échappement est utilisée pour évacuer les fumées générées des chambres. La machine est équipée d'un équipement de contrôle avancé pour fournir aux utilisateurs une fonctionnalité et une flexibilité supérieures lors de la mise en place des paramètres de leurs processus de gravure et de décapage. L'opérateur peut utiliser le système de contrôle pour régler le temps de gravure, la température de gravure, la pression de gravure et la concentration de la solution de gravure. L'utilisateur peut également utiliser l'unité pour régler la température, la pression et le temps sec de la chambre de bande et de la chambre de transfert. En outre, la machine permet à l'utilisateur de stocker des recettes de gravure créées pour des substrats et des procédés spécifiques qui peuvent être récupérés et utilisés à tout moment. L'outil surveille également les paramètres du processus et fournit des commentaires à l'utilisateur. TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN dispose de plusieurs dispositifs de sécurité pour assurer le bon fonctionnement et prévenir les accidents. Un actif de mise à la terre est incorporé qui élimine les charges électriques statiques et fournit une mesure de sécurité pendant le processus de gravure et de dénudage. Le modèle empêche également les opérateurs d'entrer dans les chambres de gravure et de bande en s'assurant que les chambres sont correctement verrouillées lors de leur utilisation. Un équipement d'alarme est installé qui sonnera si l'un des paramètres du processus dérive en dehors de leur portée établie, avertissant l'opérateur de les corriger. TEL/TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN fournit un haut niveau de précision et un retournement rapide lors de la gravure et du décapage des puces. Il est conçu pour des applications semi-conductrices et est très fiable et efficace, ce qui en fait une excellente machine pour la production industrielle.
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