Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293592929 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Trias est un graveur/asher conçu spécifiquement pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. C'est un outil monobloc d'une capacité de 200 mm. Il adopte la technologie de traitement horizontal latéral pour optimiser l'homogénéité de la surface gravée. Le graveur contient un substrat tournant avec une taille réglable et une fonction de gravure d'assistance liquide. Cette caractéristique permet une vitesse de gravure uniforme et une grande surface de gravure uniformément répartie. Le substrat est chauffé et pressurisé pour augmenter la vitesse de gravure, tout en maintenant la propreté. De plus, le graveur possède une grande précision, ce qui permet de reproduire avec précision la forme et la taille de la fiche technique gravée. L'etcher dispose d'une chambre à chambre unique pouvant accueillir jusqu'à 200mm de plaquettes. Ceci permet de traiter un large éventail de substrats, y compris le silicium polycristallin et l'oxynitrure de silicium. Le graveur est également équipé de gravure ionique réactive (RIE) pour la gravure profonde. La source d'ions bi-mode permet d'utiliser divers matériaux de gravure, notamment des fluorures, des hydrofluorures, des boranes, des halogénures et des nitrures. L'etcher est conçu pour minimiser les problèmes de contamination et de propreté. Il utilise un système de nettoyage inverse qui inverse le processus de gravure, fournissant une surface après gravure propre. En plus de cela, le système dispose d'une chambre de nettoyage tunnel, qui peut être chargé avec de la vapeur d'eau et un gaz inerte pour assurer un niveau élevé de propreté. L'etcher dispose d'une interface logicielle facile à utiliser, qui peut être adaptée à une variété de motifs de gravure. L'utilisateur peut ajuster le temps pour maintenir des vitesses de gravure stables, ou la vitesse pour fournir une gravure supplémentaire sur les zones critiques. Le système comprend également un calendrier d'analyse pour s'assurer que la plaquette est exposée aux paramètres de traitement spécifiés. Dans l'ensemble, TEL Trias etcher/asher est parfait pour effectuer des tâches dans une variété de substrats avec un excellent contrôle sur la vitesse de gravure et l'uniformité de la surface. C'est un outil fiable et efficace pour produire rapidement des résultats précis, ce qui garantit un niveau élevé de productivité et de rentabilité.