Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293605722 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Trias est une machine de gravure/ashing (etchback) avancée utilisée pour la fabrication et l'usinage de dispositifs semi-conducteurs avancés et d'autres dispositifs complexes. TEL Trias a été conçu comme une machine multifonctionnelle avec des capacités de gravure humide et sèche, lui permettant d'effectuer des processus gravés/cendrés dans un environnement contrôlé et avec une large gamme de matériaux. TOKYO ELECTRON Trias dispose d'un équipement de contrôle numérique de précision qui offre une répétabilité et une précision élevées dans le processus de gravure/ashing. Trias dispose de deux chambres de gravure/ashing, qui supportent chacune une variété de processus de coupe/etchback. La première chambre, la chambre de gravure humide, est équipée d'un vide et d'un graveur à base de liquide. La chambre de gravure humide est adaptée au traitement des plaquettes des deux matériaux, tels que le silicium amorphe et le poly-si ge, ainsi qu'à la réalisation d'une gravure/cueillette supérieure des surfaces en aluminium et en cuivre. La deuxième chambre, la chambre de gravure sèche, supporte un procédé de gravure/cueillette sec et non sous vide. Cette chambre est adaptée à des procédés tels que l'amincissement polyimide, le tissage avancé et la gravure par film sec. TEL/TOKYO ELECTRON Trias est conçu avec une large gamme de composants, tels qu'un système d'arrivée d'oxygène, une unité d'autodiagnostic et une alimentation RF, pour assurer des performances de gravure/cueillette optimales. TEL Trias dispose également d'une machine de manutention automatisée des plaquettes, qui permet d'utiliser une grande variété de tailles de plaquettes adaptées à la gravure/cueillette, y compris des substrats et des couches d'une épaisseur pouvant atteindre 1 mm. Le contrôle de processus entièrement automatisé est capable de suivre et de contrôler les paramètres de gravure/ashing pendant le processus. En plus d'être une machine de gravure/cueillette efficace, TOKYO ELECTRON Trias est également puissant en matière de nettoyage et de séchage des plaquettes. Son processus de nettoyage comprend la dégazation de surfaces fortement marquées et contaminées, la production automatisée de bulles d'azote et le traitement des liquides. Trias a également une fonction de séchage multifonctionnelle, qui est capable de sécher à la fois les particules fines et les particules de grande taille avec une grande efficacité et vitesse. TEL/TOKYO ELECTRON Trias est un excellent exemple de machine capable de produire des dispositifs semi-conducteurs avancés et d'autres dispositifs complexes avec des processus de gravure/cueillette à sec et humide à haute précision et répétabilité. La vaste gamme de capacités de TEL Trias, les contrôles automatisés faciles à utiliser et le haut niveau de répétabilité des processus en font un graveur/asher idéal pour les applications industrielles et de recherche/développement.