Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293605934 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Trias est un équipement de gravure/asher conçu pour traiter les dispositifs microélectroniques rapidement et avec une précision supérieure. Il utilise une technique de gravure par jet microfluidique, qui maximise la vitesse de gravure, la précision et l'uniformité. TEL Trias est également équipé d'un système d'alignement de type Zernike à 3 axes pour l'alignement de haute précision du substrat ou de la position de la plaquette pour la gravure. TOKYO ELECTRON Trias utilise un environnement plasma de gravure d'ions réactifs (RIE), qui est accéléré par le champ électrostatique créé par les multiples sources d'ions. Ceci crée un processus de gravure avec une précision de niveau atomique et une vitesse de gravure uniforme pour l'ensemble du substrat ou de la plaquette. L'environnement plasmatique réduit ou élimine les processus de gravure physique indésirables qui sont sujets à l'érosion des bords et des coins, ce qui rend possible des conceptions plus denses. Trias prend également en charge une gamme complète de technologies de résistance à la photo, y compris la lithographie standard et sous-résolution. Il est conçu pour fournir un débit allant jusqu'à 10 plaquettes par heure, et son logiciel est conçu pour intégrer et automatiser les processus en amont et en aval. L'unité peut également traiter des structures tridimensionnelles complexes, et elle est compatible avec la plupart des structures photomasques existantes. TEL/TOKYO ELECTRON Trias est logé dans une chambre d'isolation environnementale à faible vibration qui améliore la précision et minimise la distorsion photo-masque due au magnétisme. Sa machine intégrée de manutention des plaquettes réduit les risques de contamination et d'adhérence aux particules, et l'étage des plaquettes est équipé d'éléments chauffants en quartz, permettant un contrôle thermique précis et précis. TEL Trias est soutenu par un réseau mondial de représentants de services et d'experts techniques pour fournir un soutien sur place et des solutions d'ingénierie sur mesure.