Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293622393 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Trias est un équipement de graveur/asher de pointe utilisé pour diverses applications de traitement de semi-conducteurs. Il utilise la technologie du plasma à couplage inductif (PIC) pour fournir des opérations de gravure et de cueillette puissantes et précises pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs avancés. Avec une grande chambre de procédé contrôlée par la température, associée à une source de plasma stable à la température, TEL Trias est capable d'une variété de procédés, y compris la gravure de résines photosensibles, l'oxydation et le cendrage. La technologie de gravure de pointe utilisée par TOKYO ELECTRON Trias permet une excellente sélectivité et uniformité des caractéristiques gravées, ainsi qu'un traitement précis et reproductible des films ultra-minces. La zone de traitement des plaquettes de Trias est conçue pour assurer un contrôle optimal de la température et l'uniformité. Pour ce faire, on utilise huit plaques de quartz cylindriques qui sont refroidies par circulation d'eau. Chaque plaque est séparée de 8 mm et peut être ajustée pour une homogénéité de température réglable avec une répétabilité de 360 °. Cela garantit des résultats de gravure précis et empêche le placement défectueux des plaquettes pendant le traitement. Le système de transfert des plaquettes permet également un placement rapide et précis des plaquettes sur la plaine de chauffage en utilisant du gaz inerte pour prévenir la contamination. TEL/TOKYO ELECTRON Trias utilise une chambre CDA fermée et séparée qui sert à fournir les produits chimiques et les gaz nécessaires à la gravure et au cendrage. Cette chambre offre un environnement de travail stable, permettant une distribution efficace des réactifs, ainsi qu'un mélange et une purge des gaz, pour une meilleure reproductibilité des procédés. L'unité comprend également une machine avancée de contrôle du vide avec un verrou de charge pour le transfert efficace des plaquettes dans et hors de la chambre, ainsi que la réduction de la contamination de l'environnement du processus. TEL Trias est également capable d'optimiser les processus de gravure en fonction de l'application spécifique effectuée. Cela comprend des capacités telles que la vitesse de gravure réglable, l'homogénéité et l'uniformité réglables, et la profondeur de gravure réglable, qui peuvent tous être ajustés avec précision pour tout processus donné, ce qui permet d'améliorer le rendement, la précision et la répétabilité. L'outil offre également des fonctions de surveillance et de contrôle avancées telles que le contrôle de la température et la détection du point final, permettant la mesure automatique et la rétroaction des paramètres du processus. En conclusion, TOKYO ELECTRON Trias est un actif avancé de gravure/cendres conçu pour fournir des opérations de gravure et de cendrage précises, ainsi que des paramètres de traitement réglables qui peuvent être adaptés à des applications spécifiques. L'environnement de travail stable du modèle, le traitement uniforme en température et les fonctions de surveillance et de contrôle avancées en font un outil précieux pour la fabrication d'une variété de dispositifs semi-conducteurs avancés.