Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293652308 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Trias est un graveur/asher conçu et fabriqué par TEL (TOKYO ELECTRON) Corporation. Il s'agit d'un dispositif de gravure et de cueillette de haute précision utilisé pour créer de minuscules ouvertures dans des couches de couches minces et des motifs dans les couches de gravure de puces semi-conductrices, de structures de systèmes microélectromécaniques (MEMS) et de structures de circuits intégrés (IC). TEL Trias est un équipement itératif de gravure et de cendrage (TEARS) avec une précision et une précision améliorées par rapport aux graveurs et cendres secs traditionnels. Il utilise un procédé avancé de gravure/cueillette des semi-conducteurs qui permet des opérations de gravure, de cueillette et de coupe très précises. Le système dispose d'un meilleur contrôle du temps de processus à haut débit qui lui permet de produire des profils de gravure cohérents et des motifs précis dans les couches de gravure. Cette unité comporte également un contrôle précis du positionnement de la tête de gravure, permettant de positionner avec précision la tête de gravure sur la surface du substrat. En outre, TOKYO ELECTRON Trias dispose également de capacités intégrées de manutention de plaquettes telles que le contrôle de la température au niveau de la plaquette, l'emplacement précis de la garniture et de l'entretoise de plaquettes, et la rotation et le chargement précis des plaquettes. Cela rend la machine capable d'intégrer des tâches de gravure, de cendrage et de tréfilage précis dans des opérations d'outil unique, éliminant le besoin de processus d'usinage supplémentaires et permettant l'optimisation des processus de gravure et de cendrage. Trias intègre également un procédé de gravure anodique rotative basse pression (RRO), qui permet des profils de gravure plus précis et une meilleure qualité de gravure tout en éliminant les dommages de gravure. De plus, TEL/TOKYO ELECTRON Trias dispose d'un contrôle de procédé amélioré avec un contrôle précis de l'humidité, de la température et de la concentration d'oxygène dans la chambre de gravure, ce qui permet une meilleure qualité de gravure et un rendement plus élevé pendant la même durée de gravure. TEL Trias offre également des fonctionnalités de sécurité et d'exploitation améliorées telles que la robotique fermée, les commandes de mouvement, les clapets et les équipements de chargement/déchargement qui améliorent la sécurité et la sécurité des utilisateurs. En outre, TOKYO ELECTRON Trias est également certifié ISO 14001, garantissant la qualité des performances de l'actif. En combinant les technologies avancées de gravure et de cendrage, Trias est un graveur/asher idéal pour la production de puce semi-conductrice, de structure MEMS et de structure IC. Il offre une précision, une précision et une sécurité améliorées, ce qui en fait l'appareil idéal pour les tâches de gravure et de cueillette avancées.