Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293677520 à vendre en France
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ID: 293677520
Style Vintage: 2006
Metal CVD system
Process: Ta₂O₅
(2) Chillers
(3) Chambers
Loader
Waste gas treatment system
Uninterruptible Power Supply (UPS)
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Trias est un graveur, ou asher, utilisé dans l'industrie de la microfabrication des semi-conducteurs pour la création de circuits intégrés. TEL Trias utilise un procédé très précis de dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PE-CVD) qui offre une contrôlabilité, une répétabilité, une flexibilité de processus de haut niveau et un débit de volume élevé. Afin d'assurer l'exactitude et la cohérence des résultats, TOKYO ELECTRON Trias intègre la rétroaction des données en temps réel et la mesure du mouvement des plaquettes avec ses systèmes de commande intelligents. Trias est particulièrement efficace lorsqu'il s'agit de combler les lacunes, avec son dépôt en mode vide fermé éprouvé, qui lui permet de combler les pores profonds et les lacunes extrêmement étroites avec des dépôts de haute précision. Outre le remplissage des lacunes, TEL/TOKYO ELECTRON Trias peut être utilisé pour la gravure complexe, comme la gravure des structures à haut rapport d'aspect nécessaires à la création de transistors, de condensateurs et d'autres composants de circuit de base. La structure fermée de TEL Trias réduit l'exposition chimique, ce qui la rend non seulement plus efficace mais aussi sûre. TOKYO ELECTRON Trias dispose également d'un système avancé de contrôle des processus (APC) qui assure la surveillance et le contrôle des processus en temps réel. Ce système permet l'optimisation automatisée des paramètres de gravure, en veillant à ce que le processus fonctionne toujours de manière optimale. En outre, Trias est équipé d'activités de chambre telles que l'obturateur, le transfert de plaquettes et l'échange d'échantillons, qui le rendent facile et sûr à utiliser. TEL/TOKYO ELECTRON Trias est idéal pour une utilisation dans des environnements de production à haut volume, où des performances cohérentes, une gestion fiable des processus et un débit élevé sont essentiels. Avec ses caractéristiques avancées et ses antécédents avérés, TEL Trias est un outil fiable qui peut aider les fabricants de semi-conducteurs à produire des circuits intégrés de la plus haute qualité.
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