Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293689274 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Trias est un graveur/asher qui utilise la technologie du plasma à couplage inductif (PIC) pour graver avec précision un large éventail de matériaux tels que le quartz, le verre, la plaquette de silicium et le métal. TEL Trias est un équipement de gravure avancé composé de modules multi-processus et a la capacité d'effectuer une gravure standard et une gravure fine qui nécessite un contrôle précis de l'épaisseur et de la répétabilité. La source du PIC de TOKYO ELECTRON Trias comprend un générateur de tension haute fréquence et une grande enceinte en verre contenant des gaz inertes tels que l'argon, l'hydrogène et l'hélium. La source ICP est utilisée pour créer un plasma à niveau d'énergie, température et pression contrôlées, permettant une gravure précise d'une grande variété de matériaux. L'interface logicielle de Trias peut être facilement personnalisée en fonction des besoins spécifiques du client. Il comprend un large éventail de paramètres de processus et de paramètres intégrés qui peuvent être ajustés et modifiés au besoin. TEL/TOKYO ELECTRON Trias dispose également d'un système de distribution de gaz uniforme qui répartit uniformément le matériau excavé sur la surface de la plaquette, permettant une uniformité de la profondeur de gravure et de la résistivité. Son unité de régulation de température uniforme permet un contrôle précis du processus de gravure, assurant une répétabilité et un résultat constant de haute qualité. L'interface de TEL Trias permet également à l'utilisateur de suivre les paramètres du processus, d'analyser les tendances et d'ajuster le processus de gravure en fonction des besoins du client. En termes de sécurité, TOKYO ELECTRON Trias est conçu pour répondre aux règles et exigences de sécurité du client, ainsi que pour fournir des dispositifs de sécurité complets tels que les alarmes automatiques, la surveillance de la pression et du débit, la machine d'échappement, et la récupération des vapeurs. En conclusion, Trias etcher/asher est un outil de gravure avancé capable d'effectuer une gravure précise et fine gravure de différents matériaux et fournissant d'excellentes caractéristiques de sécurité.