Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293767140 à vendre en France

ID: 293767140
Taille de la plaquette: 2006
Metal CVD system 2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Trias est un équipement de gravure à plasma conçu spécifiquement pour la recherche et le développement de fabrication de dispositifs, ainsi que la production d'une large gamme de dispositifs semi-conducteurs. Il est capable de graver des couches de motifs simples ou multiples dans la même chambre pour la fabrication de MEMS modernes et de dispositifs connexes. TEL Trias utilise une source de plasma à basse fréquence pour minimiser les dommages de gravure sur différents motifs, tout en fournissant un niveau de productivité accru. Ce système de gravure offre également une large gamme de capacités de gravure plasma de précision, permettant la fabrication d'appareils à haute résolution et précision. Avec son contrôle amélioré des procédés et ses capacités de production améliorées, l'unité TOKYO ELECTRON Trias est un choix idéal pour la fabrication de composants semi-conducteurs avancés. Trias a un certain nombre de caractéristiques qui en font une machine de gravure attrayante. Par exemple, il dispose d'un outil de gestion thermique amélioré et est capable de temps de refroidissement et de récupération rapides à l'aide de chauffages et de refroidisseurs internes. En outre, il est équipé d'une fonction avancée de contrôle automatique de fréquence (AFC) pour assurer la cohérence du processus, ainsi que le débit et la productivité plus élevés. De plus, l'actif comprend des diagnostics intégrés pour surveiller et contrôler les conditions plasmatiques en temps réel et reconnaître rapidement tout problème potentiel. Cela garantit un haut niveau de répétabilité et de fiabilité des processus. TEL/TOKYO ELECTRON Trias est également livré avec une gamme de chambres de gravure dédiées, offrant différentes capacités de gravure et offrant différents niveaux de sélectivité pour graver différents matériaux. Par exemple, les chambres dédiées permettent une gravure profonde, une gravure peu profonde et une gravure ionique réactive. De plus, le modèle est équipé d'un certain nombre de composants avancés tels qu'une plaque de polarisation multi-points et un équipement de détection à plusieurs niveaux pour maximiser la qualité de gravure. Enfin, TEL Trias est conçu pour être facile à utiliser et est livré avec une gamme de logiciels et d'interfaces utilisateur. Par exemple, il peut être contrôlé via un écran tactile intégré, permettant à l'utilisateur de surveiller et de contrôler le processus de gravure directement à partir de l'affichage. En outre, le système est compatible avec une gamme de logiciels, permettant aux utilisateurs de créer des recettes de gravure et d'évaluer les résultats de gravure. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON Trias offre des performances de gravure fiables et répétables pour un large éventail de besoins en semi-conducteurs. Ses capacités de gravure avancées, combinées à ses fonctions étendues de contrôle des processus, en font un choix idéal pour la fabrication de MEMS modernes et d'appareils connexes.
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