Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293778167 à vendre en France

ID: 293778167
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
Metal Chemical Vapor Deposition (CVD) system, 12" Loader module (2) Loadlock modules Loader arm Transfer arm (3) Front Opening Unified Pods (FOUP) Orienteer unit Transfer module (2) Process modules 2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Trias est un graveur/asher avancé qui est utilisé pour créer des motifs complexes et différentes formes dans les plaquettes semi-conductrices lors de la création de circuits intégrés. TEL Trias travaille en conjonction avec une étape contrôlée par ordinateur et est capable de produire des résultats précis avec facilité et précision. TOKYO ELECTRON Trias est utilisé dans la production d'une large gamme de composants électroniques, tels que transistors, diodes et autres composants microélectroniques. Trias dispose d'une chambre de gravure par lots haute pression (HEBS) qui permet une gravure à haut rapport d'aspect avec un contrôle précis de l'épaisseur. La chambre permet un contrôle précis des paramètres de gravure tels que le temps, la température, la pression et la chimie. Pour un dimensionnement précis des caractéristiques et des performances reproductibles, TEL/TOKYO ELECTRON Trias utilise un système de revêtement photorésist spin-on pour un revêtement uniforme et une élimination facile de la photorésist. L'unité de contrôle de processus intégrée de TEL Trias est conçue pour fournir des capacités de contrôle puissantes en temps réel. Cette machine surveille, calibre et gère les paramètres de processus, les recettes et les variables à l'intérieur de la chambre. Il contribue également à maintenir la qualité de la production et à maintenir les paramètres du processus dans des limites acceptables. L'outil sophistiqué de contrôle des processus permet également à l'utilisateur de faire des ajustements à la volée pour tenir compte des changements dans les paramètres des processus et les conditions environnementales. TOKYO ELECTRON Trias est très adaptable aux exigences actuelles des processus, offrant des processus de gravure efficaces, reproductibles et fiables. Grâce à des processus de gravure et de dépôt performants, à une finition de surface uniforme et à des capacités de gestion de programme avancées, Trias offre des performances de pointe. TEL/TOKYO ELECTRON Trias est capable de décharger des volumes allant de 0,1 à 150 litres et peut traiter des plaquettes jusqu'à 4 pouces de diamètre. TEL Trias dispose également d'un atout d'alarme intelligent pour prédire, surveiller et prévenir les erreurs de processus et les contaminants. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON Trias est un graveur/asher avancé qui fournit un contrôle précis et des performances répétables et assure des résultats fiables. Avec ses capacités de gravure haute performance, ses capacités de gestion de programme avancées et son modèle d'alarme intelligent, Trias offre des résultats fiables avec un débit élevé et une durée de vie prolongée.
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