Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293778168 à vendre en France

ID: 293778168
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2010
Metal CVD system, 12" (2) Process modules (2) Load-lock modules Loader arm (3) FOUPs Orienter unit (2) Transfer modules Loader module Transfer arm 2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Trias est un système de gravure/asher avancé utilisé pour le marquage de précision et le dépôt matériel de composants électroniques. Il est capable de graver des motifs dans une grande variété de substrats, et est devenu une norme de l'industrie pour l'emballage des semi-conducteurs et l'interconnexion. TEL Trias utilise une plate-forme modulaire qui peut être personnalisée pour différentes applications, lui permettant d'effectuer efficacement une variété de tâches de gravure et de dépôt de matériaux. TOKYO ELECTRON Trias se compose d'une unité primaire, d'une unité de grille, d'un chargeur/déchargeur, d'un mécanisme de balayage et d'un mécanisme de transfert. L'unité primaire de Trias est constituée d'un amas de sources d'évaporation du faisceau d'électrons (EB VPS) et d'une chambre à plasma. Le VPS EB est utilisé pour déposer le motif gravé sur la surface du substrat, offrant une qualité et une précision inégalées en contrôlant la quantité de matériau appliquée. La chambre à plasma est un espace clos qui contient le plasma généré par le VPS EB, et sert à graver le motif dans le substrat. L'unité de grille de TEL/TOKYO ELECTRON Trias contient une vanne de grille et plusieurs dispositifs de commande et de surveillance, qui sont utilisés pour contrôler la quantité de matériau qui passe à la surface du substrat à partir du VPS EB. Le chargeur/déchargeur permet un transfert automatisé entre la station de charge/déchargement du substrat et le mécanisme de balayage. Une action automatisée impliquant des outils de sélection et de mise en place aide à charger/décharger les substrats de manière plus efficace. Le mécanisme de balayage comprend une tête de broche avec un mouvement de balayage, balayant le substrat dans plusieurs directions pour graver correctement le motif. Le mécanisme de transfert comprend un outil automatisé qui transfère le substrat au besoin entre le chargeur/déchargeur du substrat et le mécanisme de balayage. Cela permet un transfert efficace avec une usure mécanique minimale. TEL Trias est un système de gravure et de dépôt de matériaux fiable avec de nombreuses caractéristiques qui en font une norme industrielle pour l'emballage et l'interconnexion des semi-conducteurs. Sa conception modulaire et sa technologie avancée de dépôt en phase vapeur par faisceau d'électrons permettent de réaliser des essais précis, précis et reproductibles et de déposer des composants électroniques. Les mécanismes de chargement/déchargement très efficaces et les outils automatisés fournissent un processus automatisé répétable, faisant de TOKYO ELECTRON Trias un choix idéal pour la gravure et le dépôt de motifs complexes sur divers matériaux.
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