Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293821837 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Trias est un graveur/asher à plasma haute performance pour les industries des semi-conducteurs et autres. Il est utilisé pour graver/ashe les petites structures semi-conductrices et les plaquettes avec précision et sécurité. Il offre un processus de gravure/gravure efficace, économique et avancé avec sa conception modulaire et son logiciel intégré de contrôle des processus. TEL Trias offre une plate-forme polyvalente pour diverses opérations de gravure/cueillette de plasma. TOKYO ELECTRON Trias a été conçu pour fournir la plus grande précision de gravure/cendrage pour une variété de substrats tels que les plaquettes simples et double face, les plaquettes revêtues de céramique, de métal et de quartz. Il est capable de traiter des produits à partir d'un large éventail de types de matériaux dont cristallin, poly-cristallin, céramique, silicone, etc. Il dispose également d'un équipement de contrôle de pression très précis qui permet une précision et une répétabilité de vitesse de gravure très élevées, permettant la gravure de processus complexes avec une extrême précision. Trias a plusieurs modes opérationnels tels que pré-pulvérisation, pulvérisation, gravure et pulvérisation/gravure, ainsi que la capacité d'effectuer une opération à la fois, ou plusieurs opérations ensemble. Le logiciel intégré de contrôle de processus a la capacité de surveiller et de commander plusieurs processus différents simultanément, à travers une seule opération de bouton. De plus, TEL/TOKYO ELECTRON Trias a la possibilité de stocker jusqu'à 99 étapes préprogrammées de recette, permettant des opérations de gravure/cueillette optimales. TEL Trias dispose également d'un système HSAR (High Speed Automatic Recipe Control) qui permet aux utilisateurs d'accéder rapidement et facilement à des recettes personnalisables qui peuvent être utilisées pour graver diverses combinaisons de matériaux et de tailles de plaquettes avec précision, précision et répétabilité. En outre, le logiciel convivial dispose d'une unité de refroidissement intégrée pour permettre un refroidissement rapide et empêcher la déformation des plaquettes. De plus, la fonction « maison intelligente » automatisée garantit que tous les composants et accessoires sont dans la bonne position pour chaque travail, ce qui élimine les préparations de configuration longues. Enfin, TOKYO ELECTRON Trias est équipé d'une machine d'enregistrement de données à long terme qui enregistre toutes les données relatives aux opérations de gravure/ashing. Ces données peuvent être utilisées pour la gestion des installations, le développement des processus, l'analyse des défauts, et plus encore. L'outil d'enregistrement comporte également un historique d'événements au format de données séquentielles, permettant aux utilisateurs d'analyser les wafers traités et d'étudier les problèmes potentiels.