Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293824449 à vendre en France
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ID: 293824449
Metal Chemical Vapor Deposition (CVD) system
3D NAND dedicated chamber.
TEL/TOKYO ELECTRON Trias est un graveur et asher de pointe utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs. C'est un équipement réactif de gravure ionique (RIE) qui offre des performances et une fiabilité de pointe dans l'industrie. Il est largement utilisé dans la fabrication de puces semi-conductrices, y compris la gravure de structures microélectroniques, de polymères et de nanostructures. TEL Trias est un système multi-processus qui peut effectuer des processus de gravure, de cendrage et de nettoyage dans une unité. TOKYO ELECTRON Trias utilise une source de plasma couplée inductivement avec HDPCVD (High Density Plasma Chemical Vapor Deposition) pour fournir un procédé de gravure hautement optimisé. Trias utilise une machine de commande sophistiquée qui permet des opérations de gravure/cueillette lisses et de haute précision. Il offre également une variété de configurations de chambres pour répondre à une gamme d'applications. Équipé de son capteur de chambre, il est capable de surveiller l'intérieur de la chambre et de prévenir la contamination. De plus, TEL/TOKYO ELECTRON Trias offre une fonctionnalité multifonctionnelle innovante qui permet aux utilisateurs d'effectuer des processus simultanés dans plusieurs chambres. Cette fonctionnalité est idéale pour de nombreux processus de gravure car elle réduit considérablement le coût et le temps. De plus, TEL Trias dispose d'un outil de traitement de gaz qui permet de sélectionner différents types de gaz et de combinaisons en fonction des besoins du procédé. TOKYO ELECTRON Trias est également très efficace dans la gestion des données de processus. Il dispose d'un outil de collecte de données ProcessSmartMC qui permet de suivre et d'évaluer les données de traitement en temps réel. Le modèle d'analyse avancée fournit aux utilisateurs des informations précieuses sur leurs processus pour optimiser la productivité. Enfin, Trias est conçu pour minimiser les erreurs humaines potentielles et réduire les coûts de maintenance, ce qui en fait un choix idéal pour fabriquer des puces semi-conductrices de manière rentable.
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