Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9158471 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Trias est un graveur/asher spécialement conçu pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il est utilisé pour créer et modifier des motifs sur des plaquettes de silicium, typiquement de dimensions sous microns, lors du processus de fabrication des plaquettes. TEL Trias est une machine de gravure de plaquettes à quatre faces qui combine la compatibilité ultra-haute dépression et le débit à grande vitesse dans un outil compact. Sa construction robuste fournit un processus à long terme. TOKYO ELECTRON Trias est capable de températures allant de -20 ° C à 600 ° C, permettant une large gamme d'opérations de processus incluant la gravure, l'oxydation, la diffusion et l'implantation. Trias est équipé d'un résonateur à quartz de 80 MHz pour un traitement dépendant du temps, ainsi que d'une gamme d'autres fonctionnalités de gain de temps telles que le transfert automatisé de plaquettes et un système central de gestion des données. Ces caractéristiques garantissent que TEL/TOKYO ELECTRON Trias est facile à entretenir et assure un fonctionnement fiable avec un temps d'arrêt minimal. TEL Trias réagit rapidement et avec précision aux changements dans les conditions de processus. Sa conception de cathode à double pulvérisation ne nécessite que deux gaz de procédé et permet un contrôle précis de la vitesse de gravure sur une large plage de pression de fonctionnement. Une source d'oxyde pur basse température et haute puissance minimise le budget thermique et fournit des conditions de processus stables. TOKYO ELECTRON Trias fournit également des fonctionnalités de sécurité avancées, assurant la sécurité des opérateurs et la tranquillité d'esprit. Un lecteur RFID embarqué protège l'opérateur de la surface de la plaquette, et un filtre de chambre de processus protège l'environnement en capturant des particules ultra-fines. En rationalisant et en automatisant le processus de gravure, Trias assure flexibilité, répétabilité et rentabilité pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Avec sa flexibilité, ses performances élevées et ses caractéristiques de sécurité, TEL/TOKYO ELECTRON Trias est un outil essentiel pour la fabrication moderne de dispositifs semi-conducteurs.