Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9216068 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Trias est un système entièrement automatisé conçu pour l'intégration des processus. Il fournit une technologie avancée de fabrication de dispositifs, avec un degré élevé de précision pour la gravure et l'optimisation du processus de cendrage. L'équipement fournit des résultats de gravure et d'ashing uniformes, en utilisant des déphasages optimisés et des paramètres de processus. Il est équipé de serrures de charge parallèles, permettant un chargement simultané de plusieurs tailles de substrat. La capacité opérationnelle de gravure et d'ashing est encore améliorée par un système de contrôle actif de niveau avancé (ALCS), qui utilise la surveillance en temps réel des conditions du processus et maintient la précision de la température de l'échantillon de +/- 0,1 ° C L'unité est capable de graver et de soutirer simultanément des applications de traitement de plaquettes simples et continues, la vitesse de gravure étant contrôlable avec une précision de 1000 angströms. La cohérence du processus de gravure et de cueillette est maintenue grâce à un canon à ions de haute puissance et à un composant avancé des gaz d'échappement. La machine offre une large gamme de produits chimiques pour la gravure et la cueillette de divers types de matériaux. L'outil est conçu pour effectuer une gravure de haute précision des substrats modelés ou non. L'atout optique à double foyer permet la gravure à différentes densités de caractéristiques avec précision de ligne fine et alignement optique. Le potentiel Coulomb optiquement induit permet de contrôler avec précision la terminaison du bord lors de la gravure et du contrôle du profil. Le modèle est équipé d'un appareil de chauffage indépendant pour maintenir la température du substrat. Le système intègre également une chambre de gravure plasma entièrement automatisée et une source d'ions avancée pour la gravure de la taille des fonctions sub-microns. La répétabilité de haute précision est obtenue par l'utilisation d'une tête de gravure multiple couplée à un composant de gaz d'échappement. Grâce à ses techniques de gravure à haut débit de traitement et à base d'impulsions, l'unité fournit d'excellents résultats de gravure dans les plus brefs délais. En outre, la machine offre également des fonctionnalités de sécurité avancées telles que la gamme élargie de protection ESD, outil complet de sécurité du gaz, et bouclier plasma avancé qui permettent un fonctionnement sûr et fiable. En résumé, TEL Trias offre un outil inestimable pour l'intégration de processus, capable de fournir une technologie avancée de fabrication de dispositifs avec un niveau de précision et de cohérence sans précédent. Le modèle est très polyvalent dans ses applications, et offre des caractéristiques de performance supérieures avec des algorithmes de contrôle de processus avancés, des fonctionnalités de sécurité et de protection de l'environnement améliorées, et un débit élevé.