Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9225844 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Trias est un graveur/asher avancé largement utilisé dans le processus de production de semi-conducteurs à l'avant. Il s'agit d'un module de gravure et de cueillette haute performance qui offre à la fois des processus de gravure par plasma et de cueillette sèche dans un module très efficace. Ce système comprend une chambre de procédé, une pompe à vide, une unité de contrôle de chambre, un équipement d'alimentation et une console d'opérateur. La chambre de procédé de TEL Trias est construite avec la plus grande attention aux exigences de conception rigides et est conçue pour une uniformité et une répétabilité exceptionnelles du processus de gravure. Sa structure comprend une chambre à vide triplée et des bases de chambres métalliques avec un contrôle des particules robuste pour un processus fiable de gravure en couches minces. Les parois de la chambre sont revêtues de nickel pour une compatibilité chimique et une utilisation à long terme, ainsi qu'une résistivité élevée qui peut améliorer la précision du processus de gravure. Le boîtier à vide du système est conçu pour fournir un environnement de machine fiable et stable, et est équipé de technologies exclusives à TEL telles qu'une pompe à vide à étranglement variable, et de multiples points d'étranglement pour réduire les temps d'arrêt et améliorer la précision des processus de gravure. L'unité de contrôle de la chambre est programmée avec un logiciel sophistiqué de contrôle multi-paramètres pour optimiser l'optimisation des processus, le contrôle de la température et de la pression, ainsi que la répétabilité des opérations. L'équipement d'alimentation de TOKYO ELECTRON Trias comprend des sources de résonance cyclotron électronique (ECR) et des sources d'alimentation alimentées par des amplificateurs de puissance RF haute fréquence haut de gamme. Ceci assure un processus de gravure stable et uniforme, ce qui rend possible la production de rendements élevés. La source ECR propose également diverses conceptions d'électrodes de source pour créer des processus efficaces et une homogénéité supérieure à des vitesses de traitement élevées. La console d'opérateur de Trias offre une interface simple et intuitive pour une expérience utilisateur simple et transparente. Il est livré avec une bibliothèque de processus intégrée pour la gestion rapide des données, ainsi que pour le contrôle complet des paramètres du processus. La console permet également une surveillance approfondie des processus et une détection précoce des problèmes, ainsi qu'un accès aux fichiers journaux de données pour une traçabilité complète des processus. Dans l'ensemble, TEL/TOKYO ELECTRON Trias est un graveur/asher efficace et fiable conçu pour soutenir le processus moderne de production de semi-conducteurs. Sa durabilité et ses performances avancées en font un choix idéal pour les parties avant et arrière de la fabrication des semi-conducteurs.