Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9226880 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Trias est un graveur/asher spécialement conçu pour l'élimination des oxydes, polyimides, métaux et photorésist des substrats. Ce graveur/asher utilise la technologie de gravure plasma à base de chlorure pour éliminer les matériaux indésirables rapidement et précisément avec des dommages diélectriques minimes et un contrôle précis du motif de gravure. TEL Trias est adapté à une utilisation sur des substrats à base d'oxyde tels que SiO2 avec des temps de gravure de moins de 20 minutes/course, et dispose d'une large plage de température de fonctionnement de -35 ° C à + 35 ° C Le procédé de gravure de TOKYO ELECTRON Trias utilise trois composants principaux : un gaz de gravure, une alimentation RF et une plaque de gravure. Le gaz de gravure est propulsé à travers la plaque de gravure où il se transforme en plasma basse pression. Ce plasma réagit avec les matériaux cibles sur le substrat, l'ionisant directement et déclenchant des particules volatiles, tout en chauffant simultanément les matériaux cibles permettant de les graver avec peu de dommages macroscopiques sur le substrat. L'alimentation RF produit une tension RF qui est également utilisée pour exciter le gaz de gravure et générer du plasma basse pression. Le générateur RF dispose d'une large gamme de fréquences de fonctionnement de 0,3 MHz à 1MHz et d'une large gamme de puissances RF allant de la première impulsion à la seconde impulsion à une troisième impulsion arbitraire. Les impulsions plus rapides sont typiquement pour l'augmentation de la pulvérisation par arc-down (élimination du matériau dur) tandis que les impulsions plus longues permettent d'augmenter les dommages macroscopiques de la zone. La combinaison exacte de puissance et de fréquence peut être ajustée pour créer l'état optimal de gravure et de gravure des matériaux sur le substrat. La plaque de gravure de Trias est construite à partir de quartz et conçue pour répartir uniformément le plasma sur la surface du substrat, conçu pour une efficacité de gravure et une uniformité maximales. Avec une capacité allant jusqu'à 3 "de taille de substrat et une taille de pas de tranche aussi faible que 0,1 mm, la plaque de gravure assure une gravure uniforme sur l'ensemble du substrat. Le Trias TEL/TOKYO ELECTRON est un outil efficace et précis pour l'élimination précise des oxydes, polyimides, métaux et photorésist des substrats. Avec son interface facile à utiliser, ses réglages de fréquence et de puissance réglables et sa plaque de gravure à quartz, TEL Trias est la solution idéale pour graver et aspirer les substrats pour la recherche et la production.