Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9234139 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Trias est un équipement de gravure/asher qui est utilisé pour la création de couches actives sur des surfaces de plaquettes avant le dépôt de métal. Le système est une chambre de gravure/fermentation en ligne utilisant la technologie du plasma sec pour le dépôt d'anions, et utilise un mélange gazeux de source personnalisée de l'entrée à la chambre de réaction. TEL Trias est adapté à la fabrication de dispositifs de haute précision tels que les transistors à effet de champ (FET). Il est capable de manipuler des plaquettes diamètres de 18 mm à 800 mm, avec 300 mm et 450 mm étant les tailles standard utilisées dans la production. Des procédés allant de la gravure des oxydes, de la gravure des nitrures, de la gravure du silicium polycristallin et de la gravure par pulvérisation métallique peuvent tous être effectués avec un contrôle précis du taux de gravure, de la sélectivité, de l'uniformité et de l'impureté ionique ; en minimisant la contamination par les fluides et en utilisant des recettes préétablies. TOKYO ELECTRON Trias est capable de fournir des profils de gravure de l'ordre de 0,3 μ m à 10 μ m, ou plus, en termes de contrôle des fonctionnalités sans avoir besoin d'outils assistants. Il utilise la source à deux fréquences pour générer un plasma sec intense et auto-stable dans la chambre de réaction, tout en contrôlant la génération d'ions. Ceci, avec le mélange de gaz source personnalisable, permet des résultats de gravure très efficaces et précis. L'outil offre également la compatibilité pas à pas de plaquettes, permettant un transfert rapide de plaquettes et l'assurance de bons résultats globaux de processus de plaquettes. L'actif permet également un débit allant jusqu'à 20 plaquettes par minute et une capacité de cartographie complète des plaquettes. De plus, la chambre de gravure/fermentation Trias en ligne permet de contrôler une variété de paramètres de réaction. Il est livré avec un certain nombre d'options de surveillance pour assurer la répétabilité, y compris la mesure de la pression et de la température, la spectroscopie de masse, et le fonctionnement du four à graphite. Grâce à ses résultats de gravure très efficaces et précis, le modèle TEL/TOKYO ELECTRON Trias est largement utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs, ce qui en fait l'un des systèmes de gravure/asher les plus populaires dans le domaine. Il s'est avéré être capable de créer des couches d'oxyde thermique avec d'excellentes capacités de gapfill et de topographie, ainsi que d'excellentes valeurs de mobilité et de sélectivité. Sa combinaison de précision et de fiabilité en fait un outil précieux dans la production d'appareils électroniques avancés.