Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9235229 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Trias est un graveur, ou asher, utilisé dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il est conçu pour une variété de procédés liés à la gravure, y compris la bande de résistance, la gravure humide, la gravure par pulvérisation et le descum. Utilisant la puissance de radiofréquence (RF), l'équipement TEL Trias peut obtenir des résultats de gravure précis et reproductibles. Le système se compose d'une chambre de procédé, d'une pompe à vide, d'un générateur RF et d'une unité de distribution de gaz ionisable. Il peut accueillir jusqu'à quatre plaquettes dans la chambre de processus à la fois. La chambre de procédé est contrôlée en température, polyvalente et résistante à la contamination du procédé et de l'environnement. En outre, TOKYO ELECTRON Trias machine est équipée d'une pompe à vide, capable d'atteindre jusqu'à 5 x 10-6 torr. Le générateur RF produit des niveaux de puissance réglables pour répondre à une gamme d'exigences de processus, de la gravure humide de faible puissance à la puissance élevée pour des taux d'enlèvement plus rapides. La puissance RF est appliquée à l'échantillon à travers deux électrodes planes réglables indépendamment, permettant de graver facilement des motifs complexes. L'outil de livraison de gaz permet un contrôle précis du taux de gravure et de la détection du point final, pour un contrôle précis du point final. Ce modèle de livraison de gaz permet également de minimiser les effets indésirables du processus de gravure. L'équipement Trias comprend un logiciel de visualisation de processus, capable de stocker des recettes de produits, d'analyser la structure gravée et de présenter les résultats en temps réel. Ce logiciel permet un contrôle et une surveillance faciles de l'ensemble du processus de gravure, et fournit aux utilisateurs une plate-forme polyvalente pour des travaux de gravure précis et reproductibles. Dans l'ensemble, le système de gravure TEL/TOKYO ELECTRON Trias permet la fabrication précise et répétable de dispositifs semi-conducteurs, avec un contrôle convivial des processus et une interface facile à utiliser. Avec ses fonctionnalités avancées, l'unité est un outil puissant pour des opérations de gravure efficaces et fiables.