Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9235248 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Trias est un équipement de graveur/asher de pointe conçu pour un traitement en ligne efficace et précis. Ce système utilise la technologie du faisceau d'électrons pour la gravure à haute résolution des matériaux sur une large gamme de substrats. La conception robuste de l'unité garantit des résultats fiables pour les applications microélectroniques critiques, y compris les photomasques, les couches d'alignement et le rétro-impression. La machine TEL Trias se compose de quatre composants clés : la colonne de faisceau d'électrons, le côté émission d'ions, l'étage de balayage linéaire et l'outil de distribution de gaz. La colonne de faisceau d'électrons est constituée d'une unité électromécanique qui assure à la fois un mouvement rapide et une grande précision pour un alignement précis ou une nanopatternation. Le côté émission d'ions contient un générateur et des détecteurs linéaires de faisceaux d'ions, ainsi que des échangeurs d'ions et des composants antiémissions. L'étage de balayage linéaire porte la colonne de faisceau d'électrons à travers le substrat pour effectuer des opérations de balayage répétées. Enfin, l'actif de distribution de gaz stocke, alimente et purifie le gaz de traitement de la fermentation du substrat. Tous ces composants se combinent pour faire du modèle TOKYO ELECTRON Trias un outil rapide et précis pour la mise en œuvre des processus des dispositifs critiques. L'équipement Trias dispose également d'une interface avancée de contrôle des processus. Il est capable de surveiller et de contrôler le processus de gravure en temps réel, et permet aux utilisateurs d'ajuster rapidement les paramètres, de surveiller le déroulement du processus et d'assurer une précision maximale. De plus, le programme avancé d'analyse des données intégré dans le système fournit des données d'appareil complètes, qui servent de base à l'optimisation du processus de gravure. Toutes ces caractéristiques font de l'unité TEL/TOKYO ELECTRON Trias un outil idéal pour la gravure et la gravure précises des matériaux sur une grande variété de substrats. Dans l'ensemble, TEL Trias est une machine de graveur/asher avancée conçue pour un traitement en ligne efficace et précis. Il combine la polyvalence de la technologie des faisceaux d'électrons, la précision supérieure de l'étape de balayage linéaire et les capacités avancées de surveillance des processus du programme d'analyse de données pour créer un outil puissant capable de graver et de fixer avec précision les matériaux sur pratiquement n'importe quel substrat. En outre, l'interface avancée de contrôle des processus rend le contrôle du processus de gravure et l'optimisation des performances du dispositif plus facile que jamais.