Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9235254 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Trias est un équipement de graveur/asher de pointe produit par TEL, un fournisseur leader d'équipements de traitement pour l'industrie des semi-conducteurs. TEL Trias combine la technologie de pointe de gravure et de cendres avec des systèmes de contrôle supérieurs pour fournir une méthode très efficace et précise pour graver et aspirer divers matériaux. TOKYO ELECTRON Trias utilise une source de plasma pour graver et graver des substrats tels que des plaquettes, des masques et des meurt, d'une manière sûre, contrôlée et respectueuse de l'environnement. L'unité comprend une chambre de dépôt sous-couche LPCVD, une chambre de gravure ionique réactive (RIE) et une chambre de cendres. La chambre sous-couche LPCVD assure le dépôt simultané de films ALD et LPCVD dans une seule chambre avec une grande précision et stabilité. La chambre RIE gravite des structures peu profondes et profondes avec un profil de tranchée très uniforme. De plus, la chambre RIE comprend une source de plasma de suppression profonde qui assure la gravure des tranchées profondes dans des structures à haut rapport d'aspect. La chambre à cendres de Trias est chargée d'éliminer certains matériaux de la surface du substrat, tels que les polymères, les oxydes, les nitrures, les métaux et d'autres matériaux. La machine à cendres est équipée d'une source de plasma haute densité qui fournit des vitesses de gravure élevées et une uniformité sur la surface du substrat. De plus, le processus de cendres est réalisé dans une atmosphère inerte et sûre, protégeant le substrat de l'oxydation et des contaminations. TEL/TOKYO ELECTRON Trias outil dispose également d'un actif de contrôle avancé qui assure un contrôle précis sur les processus de gravure et de cendres. Ceci assure l'uniformité, la répétabilité et la cohérence de substrat à substrat sur plusieurs substrats. De plus, le modèle fonctionne avec une grande efficacité car le temps de gravure est réduit et la possibilité de retravailler est minimisée. Dans l'ensemble, l'équipement TEL Trias est un graveur-cendrier de pointe qui combine une technologie de pointe de gravure et de cendres avec des systèmes de contrôle supérieurs afin d'assurer un maximum d'efficacité et de précision dans la gravure et le cendrage de divers matériaux. Le système TOKYO ELECTRON Trias est adapté à divers procédés sous vide et plasma, tels que le LPCVD, la gravure plasma et les cendres. En outre, son unité de commande avancée assure un contrôle de précision sur le processus de gravure et de cendres, et son rendement élevé garantit des temps de gravure courts et une possibilité minimale de retravaillement.