Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9241671 à vendre en France
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ID: 9241671
Taille de la plaquette: 12"
CVD System, 12"
(4) Process chambers (TiN)
Front end station
Transfer module
(4) Additional chambers included.
TEL/TOKYO ELECTRON Trias est une machine de gravure entièrement automatisée qui combine les technologies avancées de gravure, de gravure et de décapage en un seul équipement direct. Ce système compact et robuste présente les derniers développements de la technologie de gravure, ainsi qu'une interface conviviale et un traitement précis. En conséquence, il est très polyvalent et idéal pour diverses applications dans l'industrie des semi-conducteurs. TEL Trias dispose des dernières technologies de gravure telles que la gravure ionique réactive par plasma (RIE) et le dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Il comprend également un bateau à quartz, un potentiostat et une unité d'alimentation, permettant un contrôle complet du processus de transfert de motifs. Grâce à sa fonction d'adressage laser innovante, TOKYO ELECTRON Trias est capable de graver et de modeler jusqu'au niveau de précision micron. Trias est équipé d'un certain nombre de dispositifs de sécurité, dont un détecteur de fuites avancé et un manomètre, ainsi que d'un espace de traitement entièrement fermé. Ces caractéristiques garantissent que l'atmosphère est sûre et exempte de particules dangereuses et aident à assurer une propreté optimale de la surface. L'interface utilisateur de TEL/TOKYO ELECTRON Trias est intuitive et facile à utiliser, permettant une efficacité et une productivité maximales. Le panneau supérieur est coloré et divisé en quatre sections, donnant accès à toutes les fonctions de réglage des périphériques Ethernet et PLC. Le grand écran tactile simplifie encore le processus de fonctionnement. TEL Trias offre un certain nombre de fonctionnalités optionnelles, telles qu'un outil automatique de transfert de substrat/échantillon, un atout électrométrique et une capacité de bande intégrée. Ces fonctionnalités offrent encore plus de puissance et de flexibilité pour une grande variété d'applications de processus. TOKYO ELECTRON Trias est une machine de gravure très avancée et polyvalente qui combine les dernières technologies de gravure et de gravure en un seul modèle compact. Avec son interface conviviale, une multitude de fonctionnalités optionnelles et des fonctionnalités de sécurité avancées, Trias est parfait pour une multitude de tâches de traitement de semi-conducteurs.
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