Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9261887 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Trias est une plate-forme avancée et flexible pour les processus de gravure et de cendrage du plasma. Il est conçu pour répondre aux exigences rigoureuses des applications actuelles de graveur et asher plasma. Sa conception modulaire et sa construction robuste le rendent très fiable dans une variété d'exigences de traitement, avec la capacité de traiter des plaquettes allant de 4 « à 8 ». Les caractéristiques avancées de TEL Trias comprennent un revêtement durable en céramique quartz, qui fournit une couche de protection entre le plasma volatil et la chambre de procédé. Ce revêtement élimine la rétrodiffusion chimique, ce qui rend l'équipement de préférence adapté aux procédés les plus sensibles. Il dispose également d'une conception d'électrode RF en attente de brevet, qui assure un contrôle maximal de l'énergie lors de la gravure et de la cendre. Les électrodes ont une faible inductance et présentent une conception optimisée de l'électrode supérieure, ce qui assure des processus de gravure et de cueillette uniformes. En plus de ces caractéristiques, TOKYO ELECTRON Trias dispose d'une conception de débit de gaz à faible turbulence, qui optimise l'uniformité et la répétabilité des processus de gravure et d'ashing en créant un schéma de débit de gaz à faible turbulence. Le débit de gaz aide à minimiser la non-uniformité répartie sur la plaquette, ce qui donne des résultats de processus uniformes et des rendements plus élevés. Le système dispose également d'une large gamme de paramètres de processus, permettant à l'utilisateur d'adapter le processus de gravure et d'ashing pour différentes applications. Le logiciel avancé guide l'opérateur à chaque étape, de la configuration du processus au chargement et au traitement des échantillons. Cette flexibilité permet aux utilisateurs d'adapter facilement Trias à leurs besoins spécifiques ou de développer rapidement un nouveau processus. Dans l'ensemble, TEL/TOKYO ELECTRON Trias est une unité de graveur/asher avancée et fiable. Sa combinaison de fonctionnalités le rend adapté à une variété d'exigences de processus, et son fonctionnement flexible le rend facile à configurer et à utiliser. Avec cette machine, les utilisateurs peuvent être confiants qu'ils obtiendront constamment des résultats de haute qualité, peu importe l'application spécifique.