Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9261888 à vendre en France
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ID: 9261888
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
Metal CVD system, 12"
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Trias est un graveur/asher avancé qui fournit un débit élevé, des performances éprouvées à long terme et des rendements de processus supérieurs. L'équipement dispose d'une architecture système automatisée, permettant aux utilisateurs de changer rapidement de processus de gravure et d'ashing, élargissant la capacité de l'unité. Avec un design multi-chambres, la machine est capable d'exécuter simultanément les processus de gravure et de cueillette, offrant aux utilisateurs une utilisation maximale et la flexibilité dans leurs lignes de production. TEL Trias offre une homogénéité de vitesse de gravure exceptionnelle, permettant aux utilisateurs de graver avec une taille de lot limitée et une vitesse de gravure élevée pour les aspects minces et l'alignement uniforme des grains. La technologie de commutation automatique de chambre permet aux utilisateurs d'effectuer des temps de cycle aussi petits qu'une seconde, rendant l'outil plus efficace. L'actif optimise également les processus de production basés sur des lignes directrices de conception complexes, augmentant la qualité et la fiabilité des produits. Le modèle est construit avec une plate-forme de robot à entraînement direct de haute précision et un équipement de contrôle d'entrée/sortie avancé, permettant aux utilisateurs de programmer des modèles complexes avec une grande précision. Le taux de gravure mesuré par la plate-forme du robot d'entraînement direct est extrêmement précis, réduisant les marges d'erreur de conception de ligne. En outre, le système est également équipé d'une fonction PPF (Process Parameter File), permettant aux utilisateurs de reproduire les paramètres du processus lorsqu'ils passent d'une chambre à l'autre. L'unité est conçue pour être robuste et fiable, avec une machine de contrôle de mouvement avec une boucle de rétroaction, un temps d'impulsion de réglage minimal, un pilote de puissance à haut rendement, et des systèmes de jogging avancés. Les utilisateurs peuvent également personnaliser les temps d'exécution en fonction de leurs exigences de production. En outre, l'outil est équipé de SPC (Statistical Process Control) et de capacités d'optimisation avancées pour assurer la qualité du produit et l'efficacité du processus. TOKYO ELECTRON Trias est parfaitement adapté pour des applications telles que la gravure de précision et l'ashing plasma. Avec ses caractéristiques avancées, sa construction robuste et sa facilité d'utilisation, Trias aide les utilisateurs à atteindre les produits désirés avec des rendements de processus accrus et une qualité de produit améliorée.
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