Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9273449 à vendre en France
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ID: 9273449
Taille de la plaquette: 12"
System, 12"
(8) Chambers
Front end
Wafer transfer module
Electrical cabinet.
TEL/TOKYO ELECTRON Trias est un équipement de pointe, de haute qualité, de gravure de précision. Sa conception supérieure en fait l'un des graveurs les plus avancés technologiquement disponibles, et il est capable de produire constamment des pièces de haute précision pour une grande variété d'applications. TEL Trias est conçu pour utiliser toute une gamme de technologies de gravure et d'ashing, y compris la gravure sèche, la gravure ionique réactive (RIE), la gravure par pulvérisation et la gravure par ablation laser. Il offre une grande polyvalence, ce qui lui permet d'être utilisé pour diverses applications, allant des procédés de dépôt et de gravure en couches minces aux marquages et aux applications STI (Shallow Trench Isolation). En outre, le système est équipé de fonctions de contrôle et de précision de pointe. L'interface de programmation conviviale permet des processus de gravure/cueillette précis et reproductibles. L'unité de surveillance automatisée permet d'assurer des résultats cohérents à chaque fois, tout comme la fonction d'auto-coordination intelligente qui permet de reproduire un modèle de gravure pour assurer l'uniformité. TOKYO ELECTRON Trias dispose également d'un mandrin enduit à trois étages de haute précision qui permet une excellente précision de gravure et de cendrage. Cet outil de mandrin peut être utilisé pour effectuer plusieurs opérations de gravure et de cueillette, ou pour travailler avec des broches de support escamotables ou réglables. Cela permet aux utilisateurs de tâches Trias avec une variété de tâches complexes de gravure et d'ashing. Enfin, TEL/TOKYO ELECTRON Trias est conçu pour être compact mais flexible. Sa faible empreinte aide à maintenir les coûts à un faible niveau et sa capacité à être rapidement remodelé au besoin permet de l'utiliser pour diverses tâches. Dans l'ensemble, TEL Trias est un atout exceptionnel de gravure/cueillette capable de produire des résultats précis à maintes reprises. Sa conception polyvalente le rend idéal pour une large gamme d'applications de production professionnelles, tandis que ses fonctions de contrôle et de précision contribuent à assurer la fiabilité et la cohérence.
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