Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9290896 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON Trias est un graveur/asher polyvalent, rapide et économique conçu spécialement pour les applications industrielles et académiques de recherche et de développement. Il est capable de graver, déposer et graver en toute sécurité une variété de matériaux en couches minces à partir d'un large éventail de substrats. TEL Trias dispose d'une interface tactile intuitive permettant un fonctionnement simple et efficace. Des substrats jusqu'à 12 po de diamètre et 0,5 po d'épaisseur peuvent être logés. L'intérieur de la chambre étanche est accessible par une porte articulée, permettant un contrôle pratique des paramètres du processus. Le processus de gravure est piloté par un générateur d'ultra-haute fréquence avec une gamme de fréquences de 10 à 50 kHz. Le contrôle précis de la puissance de gravure est assuré par une alimentation réglable qui permet d'optimiser les paramètres du processus de gravure. TOKYO ELECTRON Trias propose également une gamme d'options de haute technologie, y compris une alimentation de polarisation à courant constant pour le contrôle des dépôts métalliques, un distributeur de gaz à haute énergie pour permettre le dépôt de couches minces à haute densité, et un système de déballastage à haute tension pour améliorer l'uniformité de gravure. La vitesse de gravure et la sélectivité de gravure de tous les films minces peuvent être contrôlées avec précision avec un régulateur de débit de gaz de précision. Les paramètres de tous les processus peuvent être pré-programmés pour rationaliser les opérations. Trias est conçu pour assurer la sécurité, la conformité et la protection de l'environnement. TEL/TOKYO ELECTRON Trias est un graveur/asher facile à utiliser et fiable capable de répondre aux exigences des applications de recherche et développement les plus exigeantes. Son interface conviviale en fait un choix attrayant pour les professionnels de la science et de l'ingénierie.
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