Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9311187 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Trias est un appareil de gravure ou de cueillette de pointe conçu pour des applications avancées de microfabrication et de nanofabrication. Le système est capable de fournir des options de chimie de gravure flexibles ainsi qu'un contrôle précis des processus dans une seule plate-forme. Sa conception unique à double chambre permet un contrôle précis des processus pour une variété de substrats de taille de plaquettes et de chimiographies de gravure. La chambre haute abrite les produits chimiques du procédé de gravure, tandis que la chambre basse abrite le refroidisseur et les propulseurs de gaz pour réguler les paramètres de traitement. L'unité offre un contrôle précis des paramètres de gravure, garantissant que les résultats de gravure sont répétables avec une uniformité répétable dans la zone du substrat. TEL Trias prend en charge une variété de produits chimiques de gravure, tels que le cendrage sec, la gravure humide à proximité des surcharges (NOS), la gravure chimique humide, ainsi que la gravure par plasma. Ces chimies de gravure permettent de graver différents types de matériaux avec leur compatibilité complète dans une seule machine. TOKYO ELECTRON Trias est également conçu pour être convivial, avec un générateur automatisé de recettes de processus, et la surveillance des processus en temps réel. Trias propose également des technologies avancées de gain de temps telles que le chargeur automatique à verrouillage de charge, qui réduit le temps de charge des plaquettes et élimine la contamination causée par le transfert manuel. En outre, la machine est également conçue avec un outil de chargement multi-rangées qui permet de charger plusieurs plaquettes à la fois, accélérant ainsi le processus de gravure. Cette machine a également la possibilité de stocker jusqu'à 1000 recettes, ce qui la rend facile à répéter par lots. TEL/TOKYO ELECTRON Trias offre également des capacités avancées de contrôle de processus qui sont essentielles pour les applications avancées de gravure/ashing. L'actif dispose de systèmes de contrôle de la température, de la pression et du gaz qui permettent un réglage précis des paramètres, une uniformité et une répétabilité croissantes des gravures et des cendres. Le modèle dispose également d'un mouvement ultra-précis des étages de plaquettes et d'un contrôle exact du temps. TEL Trias offre également une capacité de diagnostic à distance, permettant aux techniciens et aux ingénieurs d'identifier rapidement les défauts et de prendre des mesures correctives. Cette machine est également nominée pour la sécurité de l'environnement de la salle blanche, ce qui la rend adaptée à l'utilisation de la salle blanche. En outre, son interface multilingue et son manuel d'utilisation complet le rendent facile à utiliser et à entretenir. TOKYO ELECTRON Trias est un équipement de pointe conçu pour répondre aux besoins des applications avancées de microfabrication et de nanofabrication. Il offre des chimiographies de gravure flexibles, un contrôle précis des processus et des fonctionnalités de gain de temps ainsi que des diagnostics de défaut fiables. Avec ses fonctionnalités conviviales et ses capacités de contrôle complètes, ce système de gravure/ashing est un choix idéal pour les opérations de recherche et développement avancées.