Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9311193 à vendre en France
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ID: 9311193
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2013
Metal CVD system, 12"
Process: Metal
2013 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Trias est un graveur/asher utilisé dans les procédés de microfabrication. Son but est l'enlèvement de couches minces de matériaux d'une surface. La gravure est utilisée pour façonner la surface d'un matériau en éliminant les atomes et les molécules de manière contrôlée. TEL Trias, de TEL, est un graveur/asher puissant offrant des performances supérieures et une capacité de gravure élevée. Il s'agit d'un graveur/démoulage polyvalent de nombreux matériaux, dont des métaux, des semi-conducteurs, des isolants, des résines et des polymères. TOKYO ELECTRON Trias se compose d'une chambre à vide, d'un équipement de distribution de gaz, d'un système piloté par ordinateur, d'un générateur de plasma et d'un chauffe-électrodes. Le générateur de plasma crée un champ de plasma dans la chambre, et est la source d'énergie pour le processus de gravure. La gravure est alors contrôlée en ajustant les paramètres tels que le débit de gaz, la pression, la température du gaz et le chauffage des électrodes. La chambre en nickel électroformé (ENI) de Trias permet le traitement d'une large gamme de matériaux avec une excellente répétabilité et un contrôle précis. Le compartiment de procédé est encore renforcé par les joints d'anneau Zerostop, qui augmentent à la fois la stabilité de l'unité et le temps de traitement. TEL/TOKYO ELECTRON Trias dispose d'une machine de commande informatique très sophistiquée qui permet à l'utilisateur de contrôler au maximum le processus de gravure. Son outil de contrôle de données enregistre, stocke et contrôle tous les paramètres liés au processus, et peut également stocker jusqu'à 1 Go recettes de processus qui peuvent être facilement transférés via USB. TEL Trias peut traiter un large éventail de substrats, tels que le verre, les couches minces et l'optoélectronique avec une gravure précise. Avec sa faible consommation d'énergie, sa gravure rapide et ses produits finaux de qualité supérieure, TOKYO ELECTRON Trias est idéal pour les applications semi-conductrices, visuelles et industrielles. Trias maintient des normes strictes pour l'uniformité, la chimie et la morphologie de surface, permettant un processus de gravure plus propre pour produire des résultats de la plus haute qualité. Son atout de contrôle facile à utiliser, combiné à une plate-forme matérielle robuste, en fait l'un des meilleurs graveurs disponibles, encore renforcé par ses résultats de processus cohérents et de haute qualité.
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