Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9355862 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Trias est un graveur/asher utilisé dans la réalisation d'un processus de gravure ou ashing. C'est un équipement de pointe conçu pour offrir un traitement de surface cohérent, de haute qualité et performant des plaquettes. C'est un système très polyvalent et fiable qui peut être utilisé pour une variété d'applications de gravure et de cendrage. L'unité est basée sur un concept de conception en trois étapes TEL Trias - qui fournit trois types différents de processus de gravure/ashing : gravure à base de plasma, gravure LPCVD, et grappes. La conception brevetée TOKYO ELECTRON Trias réduit la durée de chaque processus de gravure/cueillette et, parce qu'elle utilise une conception en trois étapes, le nombre d'outils de gravure/cueillette différents nécessaires à un processus donné peut être considérablement réduit. L'étape de gravure à base de plasma fournit un processus de haute performance pour les processus de gravure, permettant un contrôle serré et l'uniformité des résultats de gravure. L'étape de gravure LPCVD repose sur des méthodologies thermiquement induites et offre un niveau amélioré de répétabilité des processus. L'étape de gravure de grappes offre une méthode vraiment unique et efficace pour fournir un processus de gravure/cendres fiable. Sa conception brevetée utilise plusieurs procédés de gravure/cendres en phase gazeuse pour assurer une gravure et un cendrage uniformes et précis de divers substrats. Trias machine est un graveur/asher idéal pour les applications avancées et sophistiquées. Il offre des performances supérieures, une répétabilité fiable et des résultats uniformes. En outre, il peut être utilisé pour un large éventail d'applications, de l'isolation de tranchées peu profondes (STI) à la planarisation de surface pour dispositifs mémoire. C'est un graveur/asher fiable et fiable pour tout besoin de gravure ou ashing.