Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9357255 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Trias est une machine de traitement de surface de type gravure/cendres qui est conçue pour une utilisation dans une variété d'industries de traitement des matériaux. Les machines de la série TEL Trias sont spécialement conçues pour la gravure et la cueillette des substrats semi-conducteurs. Ils sont spécialement conçus pour fournir des résultats de traitement cohérents qui répondent aux exigences de diverses applications clients, y compris la gravure/cendres de circuit à pas fin, la gravure/cendres ultra-barrière, la gravure/cendres de métal de contact et la gravure/cendres de tranchée, entre autres. TOKYO ELECTRON Trias série est conçu pour être utilisé avec des systèmes d'alimentation en gaz Ar et CF4, permettant aux utilisateurs d'adapter les résultats à leurs exigences spécifiques d'application. Il dispose d'une conception modulaire qui permet aux utilisateurs de mettre à niveau ou de personnaliser facilement les composants de l'équipement afin d'augmenter la capacité et les fonctionnalités. De plus, le système peut être configuré pour fonctionner avec un traitement manuel ou automatique des substrats. Au cœur de Trias se trouve une source de plasma à couplage inductif haute fréquence (ICP), conçue pour assurer les opérations de gravure et de cueillette les plus précises et les plus rentables. La source ICP est réglable, ce qui permet aux utilisateurs d'ajuster la tension, le courant et la fréquence de résonance en fonction du matériau du substrat et de l'opération de gravure/cueillette effectuée. Cette source d'ICP réglable permet un traitement plus précis, ainsi qu'une gravure et une cendre plus uniformes sur de grandes surfaces. TEL/TOKYO ELECTRON Trias utilise une machine de routage sous vide embarquée pour assurer d'excellentes capacités de débit et une gravure et un cendrage uniformes. Cet outil de routage sous vide assure également un flux de gaz uniforme dans la source du PCI. Une fonction de régulation dynamique de la température permet également d'obtenir des résultats de gravure et d'ashing répétables tout en optimisant la consommation de gaz. En outre, TEL Trias est conçu pour fournir un actif de gestion thermique efficace qui aide à maintenir la température de surface du substrat, assurant un contrôle précis sur les processus de gravure et d'ashing. La série TOKYO ELECTRON Trias comprend également une variété de fonctionnalités utiles telles que le transfert de plaquettes, un canal de refroidissement individuel de plaquettes, des systèmes de surveillance des processus et des capacités de surveillance à distance. Cela permet aux utilisateurs de visualiser et de surveiller les conditions de traitement en temps réel, assurant des résultats cohérents et des temps d'arrêt limités. Dans l'ensemble, Trias série de gravures/cendres est un choix idéal pour une variété d'industries de traitement des matériaux. La source d'ICP réglable, le modèle de routage sous vide embarqué et les fonctions de régulation dynamique de la température garantissent que les utilisateurs recevront des résultats précis et répétables de gravure et d'ashing qui correspondront à leurs besoins d'application. Avec ses caractéristiques polyvalentes, la série TEL/TOKYO ELECTRON Trias est un excellent choix pour les opérations de gravure.