Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9357277 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Trias est un équipement de gravure/asher conçu pour des applications de microfabrication complexes et avancées. Il est capable d'une production rentable avec un débit élevé et un contrôle de processus supérieur. Le système intègre des caractéristiques telles qu'un étage à trois axes pour un alignement précis des plaquettes et une unité de cartographie automatique pour assurer une gravure uniforme. La machine est capable de manipuler des tailles de plaquettes de 6 « à 12 ». Il peut également estimer le temps de gravure pour chaque application, de sorte que les utilisateurs peuvent maximiser le débit de production. Il utilise une source de plasma couplée inductivement pour assurer une gravure uniforme sur toute la surface de la plaquette. TEL Trias dispose d'une conception de chambre avancée pour réduire la contamination. Il comprend une pompe cylindrique haute performance et une boîte de stockage de grand volume pour réduire le temps d'échappement. La boîte contient également un actif de purification dynamique pour assurer des conditions de gravure fiables. Le modèle est automatisé pour assurer la productivité et la qualité. Des systèmes d'auto-focus et d'auto-mapping sont fournis pour accélérer l'installation des processus et les délais d'achèvement. La chambre de gravure intégrée est conçue pour l'uniformité et la répétabilité tout au long du processus. Une gamme complète de fonctions de surveillance des processus est également intégrée à l'équipement. Cela comprend la surveillance multi-canaux en temps réel des paramètres du processus, la détection des fuites, la surveillance de l'équilibre des pressions, l'alignement des plaquettes et d'autres paramètres du processus. Tous les paramètres sont réglables pour chaque application. Le système dispose également d'une fonctionnalité d'aide en ligne avec une base de données complète d'informations concernant la configuration, le fonctionnement et le dépannage. Des rapports d'erreur et des alarmes sont fournis pour aider les utilisateurs à identifier et à régler rapidement les problèmes liés aux processus. Enfin, l'unité dispose de plusieurs caractéristiques de sécurité conçues pour assurer la sécurité et la fiabilité de l'opérateur pendant le processus de gravure. Il s'agit notamment d'une machine d'isolation par pression positive, d'un détecteur de fuites RF, d'un outil de contrôle des gaz d'échappement et d'autres dispositifs de sécurité.