Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9362298 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Trias est un équipement de graveur/asher TEL spécialement conçu pour l'amincissement et la fixation de couches semi-conductrices composées sur des plaquettes. Ce système s'appuie sur l'expertise à long terme de TOKYO ELECTRON dans l'industrie des équipements semi-conducteurs pour apporter aux utilisateurs les dernières technologies en matière de gravure de précision et de cendrage. TEL Trias utilise la gravure à courant continu (DC) et la gravure ionique réactive élémentaire (RIE) pour les couches minces de semi-conducteurs composés ou les caractéristiques à motifs de gravure. Par lui-même, TOKYO ELECTRON Trias peut graver en utilisant O2-plasma, NF3-plasma, CF4-plasma et Ar-plasma. Trias peut également être combiné avec d'autres sources plasmatiques telles que SiH4-plasma, N2O-plasma et O2F2-plasma. Une caractéristique clé de cette unité est l'option de contrôle de l'uniformité (UCO) ; ce qui contribue à améliorer l'uniformité de la gravure dans toutes les régions de wafer. Cette option utilise un contrôleur entièrement automatisé pour contrôler les taux de gravure de différents films pour chaque emplacement de plaquette. Ce processus aide à générer des gravures plus uniformes à travers et à travers chaque plaquette. TEL/TOKYO ELECTRON Trias est également conçu pour réduire la quantité de déchets chimiques générés pendant le processus de gravure. Il existe une option End Point Stop qui permet de terminer le processus de gravure à un point prédéterminé. Cela réduit la quantité d'énergie et de matière utilisée pour chaque gravure et rend la machine plus écologique. TEL Trias est également équipé de nombreuses fonctions de sécurité sophistiquées. La température, la pression et les niveaux de gaz sont surveillés tout au long du processus de gravure. De plus, il y a un interrupteur d'arrêt d'urgence qui ferme rapidement le processus lorsque des mesures chimiques ou de température anormales sont détectées. En conclusion, TOKYO ELECTRON Trias est un outil de gravure efficace, fiable et sûr conçu pour répondre aux exigences de l'industrie des semi-conducteurs. Avec sa précision de gravure supérieure, l'option UCO, et les caractéristiques de sécurité intégrées ; Trias est bien adapté pour graver les couches semi-conductrices composées et les caractéristiques structurées sur les plaquettes.