Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9390441 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Trias est une solution polyvalente de gravure et de cendrage. L'équipement est capable de graver, d'aspirer et de nettoyer divers substrats avec une large gamme d'applications, telles que des dispositifs microélectroniques, des composants semi-conducteurs, des dispositifs MEMS, et d'autres matériaux. Le système intègre un concept d'unité modulaire entièrement automatisé, incluant le mode d'action et de commande. L'immersion facilite la gravure en couches minces, évitant le dépôt au-delà de la limite supérieure, permettant une technique de gravure très précise sans réglage manuel. Le mode de commande facilite la gravure précise et le cendrage avec un contrôle de température ajusté pour réaliser les processus souhaités. La machine dispose également d'un contrôle de processus indépendant utilisant un certain nombre de paramètres tels que la température supérieure et inférieure, le temps d'exposition et la puissance d'exposition. Ces paramètres peuvent être ajustés individuellement ou globalement en fonction du résultat et du substrat recherchés. Cela garantit la commodité et la sécurité individuelles, tout en assurant précision et fiabilité. De plus, TEL Trias est équipé de fonctionnalités avancées d'affichage et de traitement de données, y compris des fonctions d'édition de recettes, de surveillance et de mesure des antécédents thermiques et de diagnostic. L'outil utilise un tube spécial en quartz à deux couches pour assurer un chauffage progressif et donc une meilleure précision de gravure. Il intègre également un atout de contrôle moteur linéaire, permettant des étapes précises et répétables, ainsi qu'une source lumineuse unique avec une lampe à halogénure élevé pour contrôler avec précision la puissance de gravure et l'exposition uniforme. TOKYO ELECTRON Trias offre également la compatibilité des procédés avec de nombreux etchants disponibles dans le commerce, tels que les acides à base de HF, les strippers et les thiols. Pendant le processus, les gaz importés et les gaz d'échappement peuvent être surveillés pour un fonctionnement sûr. Et pour l'alimentation, le modèle utilise une source programmable de courant continu et constant, permettant un contrôle précis du courant et de la tension lors de la gravure et de l'ashing. Enfin, Trias est conçu pour un entretien et un fonctionnement faciles. Il possède des caractéristiques de sécurité avancées et est conforme aux normes de sécurité. Sa conception modulaire et son installation rentable en font un choix idéal pour les applications tant en laboratoire qu'industrielles.