Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TSP-207H #9181874 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON TSP-207H Plasma Asher est un outil de gravure plasma à haut débit pour la gravure et la cueillette de divers matériaux. Le graveur-asher est équipé d'un substrat secondaire de 50 mm SiH3 et d'un porte-plaquettes de quartz de 15 mm. L'outil de gravure à plasma TEL TSP-207H offre des performances de gravure optimales avec sa source de plasma ECR haute puissance, haute tension et très fiable. Grâce au magnétron amovible et au générateur haute fréquence, cet équipement offre une excellente uniformité de gravure, précision et répétabilité. TOKYO ELECTRON TSP-207H peut être facilement chargé et déchargé avec sa cassette chargeuse/déchargeuse. La source de plasma ECR de TSP-207H Plasma Asher génère un large éventail d'espèces de plasma avec un degré élevé de précision et de répétabilité. Sa température de substrat peut être incorporée avec précision dans le processus de dépôt et de gravure grâce à son système de régulation de température avancé. L'asher/etcher est également équipé d'une fonction de surveillance du processus pour le contrôle complet du processus plasmatique. L'observation en coupe des motifs gravés et des surfaces gravées est possible avec un microscope électronique à balayage (SEM). Le contrôleur avancé est capable d'effectuer différents processus de gravure tels que le contrôle de profondeur de gravure, le temps, la température, etc. En outre, il est équipé d'une interface graphique unique et conviviale pour un fonctionnement optimal du processus. En outre, TEL/TOKYO ELECTRON TSP-207H Plasma Asher est également livré avec la technologie de surveillance et de contrôle à distance pour le fonctionnement, le contrôle et la maintenance à distance. TEL TSP-207H Plasma Asher est une unité robuste optimisée pour un débit élevé et des résultats fiables. Il a été conçu pour gérer une variété de conditions de gravure et de cendrage pour répondre à un large éventail de besoins de traitement, ce qui en fait un choix idéal pour les opérations de gravure et de cendrage. la machine offre une précision et une répétabilité exceptionnelles, tandis que son interface conviviale garantit un fonctionnement facile.