Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TSP-304 #9355302 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON TSP-304 etcher/asher est un instrument de traitement semi-conducteur très avancé conçu pour effectuer des gravures à sec. Utilisant la technologie à base de plasma, ce cendrier est capable de déposer et de graver divers matériaux avec une précision et une précision ultra-élevées. Il dispose d'une installation multi-chambres avec cinq chambres principales, dont chacune a son propre objectif dans le processus de gravure. Cela comprend la chambre principale, la chambre d'alimentation, la chambre de réaction, la chambre RF et la chambre post-cendres. La chambre principale abrite le porte-échantillon et est conservée à une atmosphère soigneusement contrôlée pour assurer des résultats de gravure uniformes et cohérents d'une plaquette à l'autre. Cette chambre est reliée à la chambre d'alimentation qui est chargée d'introduire l'graveur et le substrat dans la chambre principale. La chambre de réaction est là où le plasma est présent et est équipée à la fois d'un champ magnétique et électrique pour contrôler la densité du plasma. Ce champ permet à l'opérateur d'ajuster la vitesse de gravure et la sélectivité de gravure à un matériau particulier. La chambre RF est électriquement isolée des autres chambres et sert de source d'énergie élevée pour produire le plasma. Cette chambre RF peut également être utilisée pour des gravures séquentielles, permettant la fabrication de motifs fins avec un excellent arrondi d'angle. Enfin, la chambre post-gravée est celle où les plaquettes sont traitées afin de s'assurer qu'elles sont exemptes de comportements corrosifs. Pour améliorer encore ses performances, TEL TSP-304 est équipé d'une variété de caractéristiques de sécurité et de diagnostic. Il est également livré avec une interface utilisateur graphique complète qui permet à l'opérateur de surveiller et de contrôler facilement le processus de gravure. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON TSP-304 est un graveur/asher avancé capable de produire des caractéristiques très précises et définies par la ligne avec une excellente répétabilité.