Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TSP-305 SCCM TE #9366004 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON TSP-305 SCCM TE est un graveur ou asher conçu pour la gravure contrôlée de substrats dans une variété de procédés de fabrication de dispositifs semi-conducteurs. L'graveur est capable de graver et de traiter jusqu'à sept plaquettes en même temps et supporte le chargement et le déchargement manuels et automatisés des plaquettes pour une efficacité maximale. L'etcher est conçu avec une seule chambre où les demandes de traitement, les paramètres de traitement et les données de recette peuvent être stockés et consultés. Le graveur est équipé d'une source de plasma multimode de précision pour assurer une gravure supérieure du substrat, une uniformité et une répétabilité du procédé. TEL TSP-305 SCCM TE etcher dispose d'une pompe de diffusion, qui peut fournir jusqu'à 2400 litres par minute de pompage à haut rendement. Cela permet à l'graveur d'effectuer de grands travaux de gravure plus rapidement et de façon plus fiable, et contribue également à réduire les coûts de traitement. Un système avancé de contrôle de la température de la chambre de procédé est également inclus pour assurer des températures uniformes, même pendant les longs temps de traitement, pour maintenir un niveau élevé d'uniformité de gravure de substrat. L'etcher dispose également d'un système de contrôle automatique des processus conçu pour maintenir un processus de gravure très cohérent. L'graveur est capable de contrôler automatiquement le processus de gravure en ajustant les débits de gaz, la pression et la puissance de l'électrode selon les besoins. Ce système de contrôle de gravure réduit le temps, le travail et les coûts de gaz associés au maintien de processus de gravure très cohérents. TOKYO ELECTRON TSP-305 SCCM TE etcher utilise un générateur RF multi-niveaux pour la gravure directe de substrat RF. Le générateur RF est capable de fonctionner à trois fréquences communes différentes, ce qui permet une flexibilité maximale du processus. Le générateur RF est couplé avec un servomoteur haute performance et un moteur à axe d'entraînement direct pour fournir une gravure de substrat supérieure. De plus, l'etcher supporte des opérations sophistiquées de codage U/V de plaquettes, de reconnaissance de substrat et de réparation de défauts. Globalement, TSP-305 SCCM TE etcher est une solution de gravure supérieure, offrant des performances de gravure fiables et répétables. L'graveur peut gérer un large éventail d'opérations de gravure, y compris la gravure, le dépôt chimique en phase vapeur et le revêtement spin-on. Il dispose d'une pompe de diffusion, d'un contrôle automatisé des processus et d'un générateur RF multi-niveaux, qui font de TEL/TOKYO ELECTRON TSP-305 SCCM TE etcher un excellent choix pour les processus de gravure contrôlés et très cohérents.