Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TSP-30555SSS #293809043 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON TSP-30555SSS est un graveur/asher avec des fonctionnalités avancées qui est utilisé pour créer des images et des motifs de haute qualité sur une variété de substrats. Il utilise une combinaison de gravure sèche et de traitement humide pour réaliser des gravures complexes sur divers matériaux tels que le silicium, le quartz et les métaux. L'équipement comporte cinq chambres à outils aux caractéristiques distinctes et utilise un procédé RIE (Reactive-Ion Etching), où les ions plasmatiques réagissent chimiquement avec les surfaces du matériau pour éliminer une couche prédéterminée. TEL TSP-30555SSS a un profil de gravure très uniforme en raison de sa configuration de processus RIE. La distribution des gaz peut être facilement modifiée afin de réaliser une gamme de profils de gravure, tels que isotrope, anisotrope, pénétration profonde et gravure peu profonde. Le système de contrôle du débit de gaz est composé d'une vanne de débit, de régulateurs de débit massique, d'un actionneur de vanne automatisé et d'un régulateur de tension électrothermique. L'unité permet un contrôle précis de la pression et du débit de gaz, afin d'atteindre les profils de gravure souhaités. Cette machine est capable de graver des profondeurs allant de 0,2 à 22,1 μ m. En outre, TOKYO ELECTRON TSP-30555SSS peut également être utilisé pour le traitement par voie humide. Il dispose d'un outil de nettoyage humide in situ et haute pression capable de réaliser des images très précises et de haute qualité. L'actif possède un contrôle de pression, de température, de temps et de solvant pour optimiser le processus de nettoyage. Cela permet d'ajuster de façon optimale les profils de gravure en fonction de l'application. TSP-30555SSS a également amélioré les caractéristiques de sécurité. Il est équipé d'un modèle de sécurité automatisé qui arrête l'équipement si une anomalie dans la gravure ou le traitement par voie humide est détectée. Il dispose également d'un capteur de débit d'eau intégré qui garantit le bon déroulement du processus de nettoyage et le respect des consignes de sécurité. Le système dispose également d'une unité de ventilation avancée pour réduire les fumées nocives et les particules libérées lors de la gravure et du traitement par voie humide. Dans l'ensemble, TEL/TOKYO ELECTRON TSP-30555SSS est un graveur/asher avancé conçu pour atteindre un haut niveau de précision avec une variété de substrats matériels. Il a la capacité de produire des motifs et des images de haute qualité avec son processus RIE et un traitement humide précis. La machine a également amélioré les caractéristiques de sécurité pour assurer un environnement de gravure sûr.