Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TSP-30555SSS #9352959 à vendre en France
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ID: 9352959
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
Etcher, 12"
Model: SCCM Shin
Main frame
(3) Chambers
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TSP-30555SSS est un graveur/asher conçu pour fournir aux utilisateurs des capacités de fixation de plaquettes rapides et efficaces. Il s'agit d'un système monobloc avec une surface de traitement importante lui permettant d'accueillir des substrats de grandes dimensions tels que des plaquettes de 2 pouces, 4 pouces et 6 pouces. Cet graveur-asher est équipé d'une chambre de traitement RIE (Reactive Ion Etch), capable d'effectuer une gravure de haute précision de divers matériaux à la surface du substrat de la plaquette. Sa capacité à effectuer la gravure sèche avec une grande précision et une large gamme de conditions de processus le rend apte à produire des caractéristiques fines sur les plaquettes. TEL TSP-30555SSS dispose d'un contrôleur de processus automatisé, qui permet aux utilisateurs de prérégler plusieurs options de processus pour le cycle de processus. Il dispose également d'une interface de contrôle des conditions de la chambre lors de la gravure et d'un système de diagnostic permettant un contrôle visuel de la pression, de la température et de l'état des processus. En outre, TOKYO ELECTRON TSP-30555SSS est équipé d'un certain nombre d'autres fonctionnalités pour améliorer ses performances. Il s'agit notamment d'une installation avancée d'Auto Tune, d'une installation multi-chambres/multi-cheminée et d'un système automatisé de chauffage/refroidissement qui contrôle la température du substrat pour optimiser les résultats des gravures. En outre, il est équipé d'endurides extra-grands, de pompes OFE et de composants à vide élevé (HV), tous conçus pour maintenir une grande précision et fiabilité tout au long du processus. TSP-30555SSS est également très compatible avec un large éventail de procédés de gravure, tels que le plasma, la gravure par faisceau d'ions et la gravure par pulvérisation. Il est également capable de réaliser des processus en une seule étape et en plusieurs étapes. Il a un temps de cycle très court et peut gérer la production de jusqu'à six plaquettes par cycle. Dans l'ensemble, TEL/TOKYO ELECTRON TSP-30555SSS est un excellent graveur/asher conçu pour offrir aux utilisateurs des résultats de haute précision avec un fonctionnement rapide et efficace. Sa construction robuste, son automate de traitement et ses nombreuses fonctionnalités en font un choix idéal pour la gravure d'une large gamme de matériaux destinés aux semi-conducteurs et autres industries connexes.
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