Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TSP-3055D #9284538 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON TSP-3055D etch/asher est un équipement de micro-gravure de précision conçu pour la gravure de composants microélectroniques, de plaquettes semi-conductrices et de panneaux plats d'affichage. Il est spécifiquement conçu pour une variété de procédés nécessitant un degré élevé de précision, y compris la formation de motifs, la gravure, le dépôt, le traitement de surface, la planarisation et la stabilisation des dépôts. L'etcher/asher est un système entièrement automatisé avec une taille de chambre maximale de 495Si, une plage de température de travail de 25 ° C à 850 ° C, un temps de cycle de 30 millisecondes en 1000-10000K cycles. Les températures peuvent être ajustées avec précision par paliers de 100 ° C avec une excellente stabilité et répétabilité, et les paramètres du cycle peuvent également être ajustés pour répondre à différentes exigences. L'unité dispose également d'un grand affichage haute résolution, permettant à l'utilisateur de contrôler facilement les paramètres du processus. TEL TSP-3055D est également livré avec une gamme puissante de fonctionnalités logicielles et matérielles. La machine utilise une technologie Waferscanner et microscanner pour permettre un positionnement précis pour la gravure et tout autre processus nécessitant une précision de sous-micron. L'outil dispose d'une application Unimatic Front End qui permet un fonctionnement efficace de l'graveur. Il existe également des options de gravure sèche et de gravure humide sélectionnables par l'utilisateur, ainsi qu'une capacité de contrôle des processus de gravure de vol. L'actif est livré avec des fonctionnalités avancées, y compris un contrôle de débit de haute précision, un contrôle de résistivité programmable et un ensemble de capteurs intégré qui permet d'obtenir des résultats extrêmement précis. Le modèle est également équipé d'une fonction de contrôle de pression de la chambre à vide qui surveille activement la pression dans la chambre. Cette fonctionnalité ainsi que les autres procédés rigoureux permettent d'obtenir des résultats de gravure de haute précision avec un taux de défaillance extrêmement faible. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON TSP-3055D etcher/asher est un excellent équipement qui offre une excellente précision et répétabilité pour une variété d'applications microélectroniques. Il dispose d'une gamme de fonctionnalités avancées qui permet des opérations de micro-traitement précises avec un minimum de temps et d'effort. Les résultats précis qu'il fournit sont fiables et contribueront à réduire les coûts et à améliorer la productivité.
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