Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TSP-3055DD #293744368 à vendre en France
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Description de TEL/TOKYO ELECTRON TSP-3055DD Etcher/Asher TEL TSP-3055DD est un équipement de premier plan conçu et produit par TEL, un fabricant leader d'équipements de fabrication de semi-conducteurs. Ce système avancé est conçu pour fournir des processus de gravure et de cendrage de haute précision, ce qui en fait un outil indispensable dans la production de dispositifs semi-conducteurs modernes. TOKYO ELECTRON TSP-3055DD dispose d'une plate-forme polyvalente qui peut accueillir un large éventail de tailles et de matériaux de substrat, ce qui le rend adapté à diverses applications dans l'industrie des semi-conducteurs. Cette unité est équipée de capacités avancées de gravure plasma et de cendrage, permettant un traitement précis et uniforme des substrats avec des rapports d'aspect élevés et des géométries complexes. Au cœur de TSP-3055DD se trouve une chambre à plasma sophistiquée qui permet un contrôle précis des paramètres plasmatiques tels que la composition du gaz, la pression, la température et la puissance RF. Ce contrôle précis assure l'élimination efficace de la résine photosensible, de l'oxyde de silicium, du nitrure de silicium et d'autres matériaux de la surface du substrat avec une sélectivité élevée et des dommages minimes aux couches sous-jacentes. TEL/TOKYO ELECTRON TSP-3055DD dispose d'une interface conviviale qui permet aux opérateurs de programmer et de surveiller facilement les processus de gravure et d'ashing. La machine est équipée de capacités d'automatisation avancées, y compris la gestion des recettes, la surveillance des processus en temps réel et l'enregistrement des données, afin d'assurer des résultats de processus cohérents et reproductibles. TEL TSP-3055DD est équipé de multiples ports d'injection de gaz, permettant l'utilisation d'une large gamme de gaz de procédé tels que l'oxygène, le fluor, le chlore et l'argon pour adapter les processus de gravure et de cueillette en fonction des exigences spécifiques d'application. L'outil dispose également d'un actif de production de plasma à double source qui permet l'utilisation simultanée de différents gaz pour obtenir un contrôle précis de la chimie du plasma et des taux de gravure. TOKYO ELECTRON TSP-3055DD est conçu avec la sécurité et la fiabilité en tête, avec des emboîtements intégrés, des capteurs de débit de gaz, et des moniteurs de pression pour assurer un fonctionnement sûr et prévenir les risques potentiels. Le modèle intègre également des systèmes avancés de contrôle de la température pour maintenir un chauffage uniforme du substrat pendant les processus de gravure et de cueillette, ce qui donne des résultats cohérents sur toute la surface du substrat. En conclusion, l'équipement TSP-3055DD etcher/asher est un outil puissant et polyvalent pour des applications de gravure plasma de haute précision dans l'industrie des semi-conducteurs. Avec ses capacités avancées, son interface conviviale et sa conception robuste, TEL/TOKYO ELECTRON TSP-3055DD fournit des résultats de processus cohérents et fiables, ce qui en fait un outil essentiel pour les installations de fabrication de semi-conducteurs qui recherchent une qualité et une efficacité supérieures dans leurs processus de production.
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