Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TSP-3055DD #9252311 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON TSP-3055DD est un graveur/asher de haute précision fabriqué par TEL. Il est utilisé comme un outil pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs ou microélectroniques, est une plate-forme puissante pour la technologie avancée de gravure ou d'ashing. TEL TSP-3055DD est un appareil de gravure à sec qui utilise à la fois les modes de gravure par plasma à couplage inductif (ICP) et à décharge par barrière diélectrique (DBD). Le mode de gravure ICP est utilisé pour graver de petits motifs avec une grande sélectivité, tandis que le mode de gravure DBD est utilisé pour la gravure de films minces. En outre, le système est équipé d'une unité de gestion des doses, qui assure un taux de sélectivité élevé et un processus de gravure bien défini. TOKYO ELECTRON TSP-3055DD a une taille maximale de plaquette de 300mm et une pression maximale de processus jusqu'à 10 Pascal. Il est équipé d'un générateur RF 100kHz - 3MHz qui fournit une large gamme de fréquences, permettant la gravure à différentes profondeurs et sélectivité. En outre, la machine est livrée avec un réacteur à plasma à quartz avec jusqu'à 2kW de puissance, permettant une grande distance substrat-torche et uniformité. Le système d'automatisation TSP-3055DD est conçu pour fournir une répétabilité inégalée dans le contrôle des processus. Le logiciel Automation Manager (AM) permet une grande variété de réglages de paramètres personnalisés et de surveillance de processus, fournissant un contrôle fin du temps de gravure, de la pression de gravure, du taux de gravure, de la surgravure et du contrôle du point final. De plus, l'outil est équipé d'un atout de spectroscopie in situ, qui permet de mesurer en temps réel les résultats des gravures. En plus des fonctions de gravure, TEL/TOKYO ELECTRON TSP-3055DD dispose également d'une option Combiner, qui permet de soutirer simultanément une plaquette. Cette technologie est extrêmement utile pour l'élimination des résines photosensibles car elle utilise une combinaison de gravure sèche et de vaporisation du plasma. TEL TSP-3055DD offre une technologie de gravure et de cendrage fiable et précise. Ses processus de gravure de haute précision et son modèle de contrôle automatisé offrent un tout nouveau niveau de capacité de lithographie et de flexibilité, ce qui en fait un choix parfait pour les applications les plus exigeantes.