Occasion TEL / TOKYO ELECTRON U2e-655II #293660132 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON U2e-655II est un équipement de gravure et de cueillette de pointe pour le traitement des submicrons et les applications en nanotechnologie. Ce graveur/asher utilise une utilisation multiple de plaquettes qui permet une large gamme de tâches de gravure et d'ashing. Ses caractéristiques comprennent un 4 ou 8 blocs parallèles, le support de systèmes de fixation non destructifs, la rotation active des plaquettes pour une meilleure uniformité et précision, un débit élevé et un faible coût de propriété. Le U2e-665II utilise différents types de procédés de gravure, y compris la gravure ionique réactive (RIE) et le dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PECVD). RIE permet la gravure d'une grande variété de matériaux dont le silicium, le dioxyde de silicium et le nitrure de silicium. PECVD est utilisé pour déposer des couches minces sur divers substrats ainsi que des structures de couches minces. TEL U2e-655II offre également un contrôle de séquence de gravure pulsée et un système de purge qui permet un meilleur contrôle de la contamination de surface pour une meilleure répétabilité. TOKYO ELECTRON U2e-655II utilise un bras de charge à grande vitesse pour améliorer le débit et une unité de reconnaissance des dimensions pour un chargement précis et précis des plaquettes. La machine est également conçue pour aider à réduire le coût de propriété en utilisant plusieurs chambres qui peuvent réduire les temps d'arrêt pour l'entretien et peuvent augmenter la productivité de l'outil. En outre, U2e-655II dispose d'un mécanisme mécanique interne qui empêche les particules de se charger et d'entrer dans la chambre à plasma. Cela contribue à réduire la contamination et à améliorer la performance globale de l'actif. Le modèle est également conçu pour être facile à utiliser et dispose d'un mode d'autodiagnostic qui aide à détecter et résoudre les erreurs rapidement. Dans l'ensemble, TEL/TOKYO ELECTRON U2e-655II fournit un équipement de gravure et de cueillette fiable et abordable pour les besoins de nanotechnologie et de traitement des sous-micromètres. Ses fonctionnalités avancées contribuent à augmenter la productivité tout en réduisant le coût de propriété et en augmentant la précision pour le traitement de précision.