Occasion TEL / TOKYO ELECTRON U2e-855II #9363962 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON U2e-855II est un appareil de gravure de pointe utilisé dans l'industrie de la microélectronique. Ce système de gravure combine un procédé de gravure sèche renforcé par plasma avec un procédé de dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Cette unité offre une homogénéité supérieure, un débit élevé et des taux de défauts faibles pour la gravure des matériaux durs et souples. TEL U2e-855II offre une haute résolution et une grande vitesse pour la gravure des trous, tranchées et motifs. Le procédé de gravure est réalisé en ionisant le mélange gazeux, puis en contrôlant la température et l'énergie avec des champs électriques appliqués, induits magnétiquement. Ces micro-ondes provoquent la formation d'un plasma, créant ainsi un environnement basse température et basse pression adapté à la gravure. La chaleur est fournie à l'extérieur pour assurer une énergie suffisante tout au long du processus de gravure. TOKYO ELECTRON U2e-855II dispose d'un panneau de commande où les utilisateurs peuvent surveiller et ajuster la pression de la chambre, la composition du gaz de travail, la vitesse d'impulsion, le niveau de puissance du plasma et l'énergie ionique. Une interface utilisateur intégrée basée sur PC permet également le contrôle et la surveillance pendant le processus de gravure. La machine dispose d'un outil de convoyage intégré pratique, qui déplace la plaquette régulièrement à travers la machine pendant le processus de gravure. En outre, U2e-855II est équipé d'un High Aspect Ratio (HAR) Channel Etching Technology, qui permet à l'utilisateur de graver des motifs profonds et complexes dans des matériaux durs tels que des plaquettes de silicium, des cristaux de quartz et des substrats céramiques. La technologie HAR est également bénéfique pour produire des profils tridimensionnels élevés avec des dommages de surface minimes. L'atout fournit une excellente gamme de fonctionnalités pour une grande variété d'applications. Par exemple, TEL/TOKYO ELECTRON U2e-855II est idéal pour la gravure par contact, par gravure de trous, gravure à haut rapport d'aspect, et pour créer des motifs profonds et complexes. Il est également capable de traiter plusieurs substrats, et est compatible avec tous les types de photomasques utilisés dans l'industrie de la microélectronique. Globalement, TEL U2e-855II est un modèle de gravure avancé adapté à une variété d'applications microélectroniques. Il offre une homogénéité supérieure, un débit élevé et des taux de défauts faibles, tout en offrant aux utilisateurs des fonctions de contrôle et de surveillance sophistiquées. L'équipement est adapté à une variété d'applications de gravure et peut manipuler le matériau dur et doux avec facilité.
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